【简 介】
X射线能谱仪在扫描电镜中可以对样品进行微区成分分析,包括点扫描、线扫描和面分布扫描等,能够实现对样品成分的精确表征。与传统能谱仪不同的是,平插式能谱仪FlatQUAD的探头水平放置于电镜极靴的正下方,空间固体角可达到>1.1sr。相同的分析条件下,平插式能谱仪的计数率可达常规能谱的几十倍,使能谱仪在保留高能量分辨率的同时具有超高的计数率和空间分辨率,特别适用于:在低束流和极低束流下(<10 pA)分析束流敏感样品,如生物、化工或半导体样品;分析表面不平整样品和颗粒样品,消除阴影效应;在低加速电压和高放大倍数下,分析纳米级材料;还可测试超薄样品(如TEM样品)。
【讲座内容】
— 能谱仪的原理
— 平插式能谱仪的应用和使用技巧
【主 讲 人】 刘 聪 博士 布鲁克公司应用科学家
【讲座时间】 2024年6月12 日(周三)上午09:00-11:00
【讲座地点】 线下:李兆基科技大楼A507室
线上:腾讯会议
【报名方式】 rongwang@mail.tsinghua.edu.cn
报名二维码:
【主办单位】 高端装备界面科学与技术全国重点实验室
【协办单位】 布鲁克(北京)科技有限公司