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110GHz信号发生和分析系统

地点:荷清大厦高精尖一层实验室

120GHZ毫米波在片网络分析仪测试系统

地点:荷清大厦高精尖一层实验室

59GHz 高宽带示波器

地点:荷清大厦高精尖中心一层实验室

ESD闩锁测试系统

地点:荷清大厦高精尖中心一层实验室

ICP刻蚀机-Cl

地点:微电子所新所一层微纳平台(暨微纳技术实验室)

ICP刻蚀机-F

地点:微电子所新所一层微纳平台(暨微纳技术实验室)

ICP设备(刻蚀机)

地点:微电子所新所一层工艺平台

IC电磁干扰扫描仪

地点:荷清大厦高精尖一层实验室

LAB18薄膜沉积系统

地点:微电子所新所一层微纳平台

MA6双面光刻机

地点:微电子所新所一楼微纳平台光刻间

NICP刻蚀机

地点:微电子所新所一层微纳平台

PICOSUN 原子层沉积系统

地点:微电子所新所一楼109

THERMCO 氧化LPCVD

地点:微电子所新所一层微纳平台

半导体器件分析仪-B1500A

地点:荷清大厦高精尖一层实验室

场发射扫描电镜

地点:微电子所新所一层微纳平台

超大规模集成电路测试机

地点:荷清大厦高精尖一层实验室

超声检测设备

地点:微电子所新所一楼微纳平台

磁控溅射镀膜机

地点:一楼平台

存储器老化测试系统

地点:荷清大厦高精尖一层实验室

低温磁电耦合系统

地点:荷清大厦高精尖一层实验室

低泄漏开关矩阵

地点:高精尖中心一层实验室

反应离子蚀刻机

地点:微电子所新所一层微纳平台

高低温热流罩

地点:荷清大厦高精尖一层实验室

高频半自动探针台

地点:荷清大厦高精尖一层实验室

高清示波器

地点:荷清大厦高精尖中心一层实验室

高清示波器

地点:荷清大厦高精尖中心一层实验室

高清示波器

地点:荷清大厦高精尖中心一层实验室

高速存储器测试系统-5833

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高速存储自动测试系统-5830

地点:荷清大厦高精尖一层实验室

高性能逻辑分析系统

地点:荷清大厦高精尖一层实验室

国产溅射台

地点:微电子所新所一层微纳平台

合金炉

地点:新所一楼工艺平台

恒温恒湿箱

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化学气相沉积系统

地点:微电子所新所一层微纳平台

佳能光刻机

地点:微电子所新所一楼微纳平台光刻间

金相显微镜

地点:微电子所新所一层测试间

快速退火炉

地点:微电子所新所一层微纳平台

快速温变箱

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冷热冲击试验箱

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逻辑分析仪

地点:荷清大厦高精尖一层实验室

逻辑分析仪

地点:荷清大厦高精尖一层实验室

器件电流波形分析仪

地点:荷清大厦高精尖一层实验室

清洗机

地点:微电子所新所一层微纳平台

去胶设备(等离子光刻)

地点:微电子所新所一层微纳平台

全自动磁控溅射系统

地点:微电子所新所一层微纳平台

任意波形发生器-81160A

地点:荷清大厦高精尖一层实验室

任意波形发生器-AWG70001A

地点:荷清大厦高精尖一层实验室

射频与微波信号发生器

地点:高精尖中心一层实验室

矢量信号发生器

地点:荷清大厦高精尖一层实验室

手动探针台

地点:荷清大厦高精尖一层实验室

网络分析仪

地点:荷清大厦高精尖中心一层实验室

误码率测试仪

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小型超低温试验箱

地点:荷清大厦高精尖一层实验室

小型冷热冲击试验箱

地点:微电子所平房

信号分析仪

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信号与频谱分析仪

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氧化炉

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音频分析仪

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硬件加速器系统

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直流半自动探针台

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直流电源分析仪

地点:荷清大厦高精尖中心一层实验室

直流电源分析仪

地点:荷清大厦高精尖中心一层实验室

桌上型点胶机

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自动打线机

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阻抗分析仪

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