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110GHz信号发生和分析系统-Keysight E8257D&9041B

地点:荷清大厦高精尖一层实验室

120GHZ毫米波在片网络分析仪测试系统-Keysight N5291A

地点:荷清大厦高精尖一层实验室

59GHz 高宽带示波器-Keysight DSAZ594A

地点:荷清大厦高精尖中心一层实验室

8位半万用表-Keysight 3458A

地点:荷清大厦高精尖一层实验室

ESD闩锁测试系统

地点:荷清大厦高精尖中心一层实验室

ICP刻蚀机-Cl

地点:微电子所新所一层微纳平台(暨微纳技术实验室)

ICP刻蚀机-F

地点:微电子所新所一层微纳平台(暨微纳技术实验室)

ICP设备(刻蚀机)

地点:微电子所新所一层工艺平台

IC电磁干扰扫描仪-ICS 105

地点:荷清大厦高精尖一层实验室

LAB18薄膜沉积系统

地点:微电子所新所一层微纳平台

MA6双面光刻机

地点:微电子所新所一楼微纳平台光刻间

NICP刻蚀机

地点:微电子所新所一层微纳平台

PICOSUN 原子层沉积系统

地点:微电子所新所一楼109

THERMCO 氧化LPCVD

地点:微电子所新所一层微纳平台

半导体参数分析仪-Keysight B1500A-8*SMU

地点:荷清大厦高精尖一层实验室

半导体器件分析仪 -Keysight B1500A&1530

地点:荷清大厦高精尖一层实验室

半导体特性分析系统-Keithley 4200A-SCS

地点:高精尖中心一层实验室

采样示波器-Tektronix DSA8300

地点:荷清大厦高精尖一层实验室

超大规模集成电路测试机-V93000

地点:荷清大厦高精尖一层实验室

超声检测设备

地点:微电子所新所一楼微纳平台

磁控溅射镀膜机

地点:一楼平台

存储器老化测试系统-IT&T B3000ES

地点:荷清大厦高精尖一层实验室

大功率探针台-MPI TS2000HP

地点:荷清大厦A座一层实验室

低温磁电耦合系统-CRX-VF

地点:荷清大厦高精尖一层实验室

低泄漏开关矩阵-Keysight B2201A

地点:高精尖中心一层实验室

多通道任意波形发生器-Tektronix AWG5208

地点:荷清大厦高精尖一层实验室

反应离子蚀刻机

地点:微电子所新所一层微纳平台

高低温全自动探针台-Opus 3 SLT

地点:荷清大厦高精尖一层实验室

高低温热流罩-TA-5000A

地点:荷清大厦高精尖一层实验室

高宽带任意波形放大器-Tektronix AWG70001B

地点:荷清大厦高精尖一层实验室

高频半自动探针台-Summit 12000B-M

地点:荷清大厦高精尖一层实验室

高清示波器-Keysight MSOS804A

地点:荷清大厦高精尖中心一层实验室

高清示波器-Tektronix DPO71304SX

地点:荷清大厦A座一层实验室

高清示波器2-Keysight DSOS254A

地点:荷清大厦高精尖中心一层实验室

高速存储器测试系统-ADVANTEST T5833ES TU1

地点:荷清大厦高精尖一层实验室

高速存储自动测试系统-ADVANTEST T5830ES

地点:荷清大厦高精尖一层实验室

高性能逻辑分析系统-Tektronix TLA7012

地点:荷清大厦高精尖一层实验室

功率计-Keysight N1913A

地点:荷清大厦高精尖一层实验室

功率器件分析仪-Keysight B1505A

地点:荷清大厦A座一层实验室

国产溅射台

地点:微电子所新所一层微纳平台

合金炉

地点:新所一楼工艺平台

恒温恒湿箱-ESPEC ARS-0220-AE

地点:荷清大厦高精尖一层实验室

化学气相沉积系统

地点:微电子所新所一层微纳平台

佳能光刻机

地点:微电子所新所一楼微纳平台光刻间

金相显微镜

地点:微电子所新所一层测试间

开关矩阵-Keysight B2201A

地点:

快速退火炉

地点:微电子所新所一层微纳平台

快速温变箱-ESPEC EGNX28-15NW

地点:荷清大厦高精尖一层实验室

冷热冲击试验箱-ESPEC TSD-101-W

地点:荷清大厦高精尖一层实验室

逻辑分析仪1-Tektronix TLA6404

地点:荷清大厦高精尖一层实验室

逻辑分析仪2-Tektronix TLA6404

地点:荷清大厦高精尖一层实验室

频谱分析仪-Keysight N9021B

地点:荷清大厦A座一层

清洗机

地点:微电子所新所一层微纳平台

去胶设备(等离子光刻)

地点:微电子所新所一层微纳平台

全自动磁控溅射系统

地点:微电子所新所一层微纳平台

任意波形发生器-Keysight 81160A

地点:荷清大厦高精尖一层实验室

任意波形发生器-Tektronix AWG70001A

地点:荷清大厦高精尖一层实验室

射频与微波信号发生器-ROHDE-SCHWARZ SMA100B

地点:高精尖中心一层实验室

时钟恢复仪-Tektronix CR286A

地点:荷清大厦高精尖一层实验室

实时频谱分析仪-Tektronix RSA5126B

地点:荷清大厦高精尖一层实验室

矢量信号发生器-Keysight E8267D

地点:荷清大厦高精尖一层实验室

矢量信号发生器-Keysight M9384B

地点:荷清大厦A座一层

示波器-Tektronix MSO64B 6-BW-4000

地点:荷清大厦A座一层实验室

手动探针台-Semishare SH-12

地点:荷清大厦高精尖一层实验室

网络分析仪-Keysight E5071C

地点:荷清大厦高精尖中心一层实验室

无液氦稀释制冷机-BF-LD400

地点:高精尖中心一层实验室

无液氦综合物性测量系统-DynaCool

地点:

误码率测试仪-Tektronix BSX320

地点:荷清大厦高精尖一层实验室

显微探针台-EPS150FA

地点:荷清大厦A座一层

相位噪声分析仪-ROHDE-SCHWARZ FSWP50

地点:荷清大厦高精尖一层实验室

小型超低温试验箱-Espec GMC-71

地点:荷清大厦高精尖一层实验室

小型冷热冲击试验箱

地点:微电子所平房

信号与频谱分析仪-ROHDE-SCHWARZ FSW26

地点:荷清大厦高精尖中心一层实验室

信号源分析仪-Keysight E5052B

地点:荷清大厦高精尖一层实验室

氧化炉

地点:微电子所新所一层微纳平台

音频分析仪-AP APx555

地点:荷清大厦高精尖一层实验室

硬件加速器系统-Mentor Veloce Strato TiL

地点:荷清大厦高精尖一层实验室

直流半自动探针台-Summit 12000B-M

地点:荷清大厦高精尖一层实验室

直流电源分析仪-Keysight X8712A

地点:荷清大厦A座一层实验室

直流电源分析仪1-keysight N6705C

地点:荷清大厦高精尖中心一层实验室

直流电源分析仪2-keysight N6705C

地点:荷清大厦高精尖中心一层实验室

桌上型点胶机

地点:微电子所新所一楼微纳平台

自动打线机

地点:微电子所新所一楼微纳平台

阻抗分析仪-Keysight E4990A

地点:荷清大厦高精尖一层实验室