真空互联-分子束外延系统(金属):
可以实现氧化物、半导体和金属材料等很多薄膜材料的外延生长。由于其超高真空度,且生长速率高精度可控,可以获得具有突变界面的高质量的外延层,也可以精确的控制沉积薄膜的厚度、掺杂以及薄膜的组成比例
真空互联-原子层沉积系统:
将物质以单原子膜形式一层一层的生长在沉底上
真空互联-多功能扫描探针显微镜:
可实现STM,接触式AFM、非接触式AFM、导电力AFM、磁AFM和静电力AFM等功能。
真空互联-磁控溅射镀膜机:
制备纳米级单层及多层功能功能薄膜,主要为多层磁性异质结、磁性隧道结、合金薄膜、半导体和氧化物薄膜等
真空互联-角分辨光电子能谱:
分析高质量薄膜晶体中的电子能带色散关系,并给出固体的费米面等信息,通过变温实验进一步得到薄膜晶体电子结构随温度的变化关系。温度最低可到10K。
真空互联-分子束外延系统(半导体):
实现氧化物、半导体和金属材料等很多薄膜材料的外延生长,且生长速率高精度可控,可以获得具有突变界面的高质量的外延层,也可以精确的控制沉积薄膜的厚度、掺杂以及薄膜的组成比例
真空互联-线性真空传输系统:
将多种薄膜生长设备与表征设备进行真空互联,保证样品在不同设备之间传送时其表面不发生氧化、沾污,不被外界大气环境所破坏。独立的样品处理室,可以对样品进行高温退火处理。样品转接腔,可以用于样品的翻转及真空的缓冲。
真空互联-脉冲激光沉积镀膜机:
用于制备磁随机存储器、阻变存储器、复杂氧化物功能薄膜材料,并为部分晶体管器件制备栅极材料
真空互联-扫描俄歇显微镜系统:
主要用于材料成分和均匀性的分析、材料性能与微观形貌两者关系的研究、微纳器件、微纳结构的高精度测试分析及失效分析等