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真空互联-磁控溅射镀膜机
地点:微电子学研究所南平房实验室108号
真空互联-分子束外延系统(半导体)
地点:微电子学研究所南平房实验室108号
真空互联-分子束外延系统(金属)
地点:微电子学研究所南平房实验室108号
真空互联-原子层沉积系统
地点:微电子学研究所南平房实验室108号
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