| 仪器名称: | 真空互联-磁控溅射镀膜机(编号：20004165) |
| 收费项目 |
计费单位 |
价格 |
收费类型 |
备注 |
| 材料溅射 |
元/小时 |
460.0
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自助上机机时费
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Au等贵金属加收100元/10nm |
| 仪器名称: | 真空互联-脉冲激光沉积镀膜机(编号：20005466) |
| 收费项目 |
计费单位 |
价格 |
收费类型 |
备注 |
| 材料生长 |
元/小时 |
530.0
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自助上机机时费
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|
| 仪器名称: | 真空互联-分子束外延系统(金属）(编号：21028618) |
| 收费项目 |
计费单位 |
价格 |
收费类型 |
备注 |
| 材料生长 |
元/小时 |
480.0
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自助上机机时费
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|
| 仪器名称: | 真空互联-多功能扫描探针显微镜(编号：21028772) |
| 收费项目 |
计费单位 |
价格 |
收费类型 |
备注 |
| 材料表征 |
元/小时 |
470.0
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自助上机机时费
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| 仪器名称: | 真空互联-分子束外延系统(半导体）(编号：21028773) |
| 收费项目 |
计费单位 |
价格 |
收费类型 |
备注 |
| 材料生长 |
元/小时 |
480.0
|
自助上机机时费
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| 仪器名称: | 真空互联-原子层沉积系统(编号：21029113) |
| 收费项目 |
计费单位 |
价格 |
收费类型 |
备注 |
| 材料生长 |
元/小时 |
750.0
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自助上机机时费
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使用Pt贵重前驱体需430元/10nm |
| 仪器名称: | 真空互联-扫描俄歇显微镜系统(编号：21029115) |
| 收费项目 |
计费单位 |
价格 |
收费类型 |
备注 |
| 材料成分表征 |
元/小时 |
295.0
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自助上机机时费
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| 仪器名称: | 真空互联-线性真空传输系统(编号：21030323) |
| 收费项目 |
计费单位 |
价格 |
收费类型 |
备注 |
| 各腔室之间的真空传输 |
元/小时 |
210.0
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自助上机机时费
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互联腔室较多时，可优惠 |
| 仪器名称: | 真空互联-角分辨光电子能谱(编号：A21000102) |
| 收费项目 |
计费单位 |
价格 |
收费类型 |
备注 |
| 材料表征 |
元/小时 |
540.0
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自助上机机时费
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液氮降温，样品解离 |
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