高精密镀膜刻蚀仪:
SEM样品前处理，表面蒸镀高精度白金镀层及碳镀层，高精密表面氩离子抛光及截面样品的切割。高精密镀膜可以满足高分辨扫描电子显微镜表面导电层制备，同时可以进行表面及界面氩离子抛光功能。
纳米扫描俄歇系统:
1） 用于分析最表层范围在单层~十层（10nm以下）的表面；
2） 锂（Li）原子序数以后的所有元素都能分析；
3） 能分析约10nm的微小区域；
4） 能进行在1nm~数nm深度分辨率下分析到μm量级深度的深 度剖面分析；
5） 在某些情形下，根据谱峰形状的不同，可区分不同的化学结合状态；
6） 浓度的检测极限可达0.1at%；
7） 虽然存在有电子损伤、绝缘材料带电等问题，用低能中和离子枪大大地缓和了绝缘材料带电所带来的分析局限。
仪器应用
纳米扫描俄歇系统（PHI 700）在金属材料、半导体材料、纳米材料以及陶瓷材料等固体材料所涉及的各个领域的研究、开发以及对产品的检测将起独特的作用。
飞行时间二次离子质谱:
基本功能：
可用以表面下范围在2nm以内的最表层分析，能检测出包括氢(H)在内的所有元素及其同位素，对所有元素具有极高的检测灵敏度(ppm～ppb,因元素而异)，可检测痕量杂质，及微量掺杂对材料和器件性能的影响；能测定从表面到深至数十μm的微量元素及化合物浓度布；能观测各种元素及化合物的1D、2D、3D分布，具有很高的空间分辨率(＜100nm)；能分析绝缘材料；能鉴定有机化合物分子，对有机材料结构分析有独特的能力，适于分析大分子、超高分子量有机化合物，并能测定分子量；能取得单分子层表面结构信息。
应用领域：
适用于有机、无机、生物、医学、电子、地质/考古、环境等各种领域的各种固体材料的分析。在有机纳米材料和器件、有机/高分子材料微量添加剂、微电子材料、催化剂、摩擦化学、新药创制、环境微颗粒微量成分、生物细胞分析等的研究开发中，它已成为必不可少的工具。
单倾冷冻传输杆系统:
可以在液氮的辅助下达到零下196摄氏度的温度，并且保证其稳定性
高分辨透射电子显微镜:
高亮度的场发射电子枪，轻松实现各种分析功能。同时本仪器还配备了液氮冷冻转移平台，可以实现生物样品的透射电镜观察。
冷场发射扫描电子显微镜:
本扫描电镜为日立经典的冷场扫描电子显微镜，具有冷场电镜高分辨率的特点，同时设备具有较高的稳定性，其高压极限分辨率为1.0 nm，具有出色的低压性能，低压加速模式可以达到1.3 nm，非常适合纳米材料、高分子材料等要求高分辨及不导电的样品；同时配备了大面积高效率电制冷能谱仪，能够方便的实现材料表面成分的微观分析。
台式等离子体清洗仪:
激光共焦拉曼光谱仪:
拉曼光谱仪是测定分子振动光谱的仪器，可用于有机化合物、无机化合物、高分子聚合物、生物膜及各种材料（如陶瓷、金刚石、纳米材料）的拉曼、化学发光、荧光分析。
红外光谱仪:
傅里叶变换红外光谱仪基于对干涉后的红外光进行傅里叶变换的技术，获得透过率或吸光度随波数或波长的红外吸收光谱图，广泛应用于无机、有机和高分子物质的结构及基团的鉴定。红外显微镜则可以实现微区红外测量。在无机、有机物的价键和结构分析，高聚物的构型、构象、力学性质的研究，在物理、生物、医学等领域都有广泛的应用。
主要附件及配置
设备配置金刚石全反射附件；漫反射附件；变温附件；80度掠射附件；气体液体检测池。中红外显微镜配置：显微全反射附件；可见光区偏振附件。
球差校正透射电镜:
IDPC积分差分相位成像技术、三维重构技术、低电压原子成像技术
多晶X射线衍射仪:
粉末样品的物相定向和定量分析，计算结晶化度，晶粒大小，确定晶系晶粒大小与畸变，薄膜样品略入射分析，小角散射与纳米材料粒径分布。
透射电子显微镜:
最高加速电压为120 KV，具有高分辨及高衬度两种观察模式；分辨率：100 KV，Au晶格像，0.24 nm；最高放大倍数：60万倍；透射电子显微镜利用高速透射电子成像，可以实现纳米材料形貌、结构及微区成分的表征，是纳米研究中基本的研究手段之一。广泛的应用于各种无机纳米材料，高分子纳米材料以及生物材料的研究。本台透射电镜利用荧光屏CCD进行样品观察，无需暗室，改善了观察时的工作环境；主CCD分辨率 2K？K；配有能谱仪：EDAX，可以实现Be-U范围的元素点分析。
X射线光电子能谱仪:
1. 紫外光电子能谱（UPS）：费米能级以下的能带分析、价带结构、功函数等。
2. 反光电子能谱（IPES）：费米能级以上的空表面态测量。材料表面与体相未占有电子结构。
3. 反射电子能量损失谱（REELS）：费米能级以上的能带分析，H元素分析。
4. 离子散射谱（ISS）：表面1-2个原子层的元素组分及表面结构等信息。
5. 残余气体分析器（RGA）： 1个质量数在200的残余气体质谱检测。
6. 准原位反应室：可实现光（氙灯光源）、高低温（170K-900K）、气体（四路气体）、压强、电场、等离子体（变频）等环境下的催化反应。