MEMS力学测试系统
地点:1303白光干涉仪
地点:精仪系103半导体器件分析仪
地点:精仪楼103固体激光器
地点:1204光谱型椭偏仪
地点:1106激光测振仪
地点:精仪楼417激光干涉仪
地点:1201近场光学显微镜控制器
地点:1201马歇特锤击试验机
地点:矢量网络分析仪
地点:1305微纳器件高分辨三维无损组织表征及检测系统
地点:精仪楼（9003大楼）107细胞单通道电流测量系统
地点:引线键合机
地点:精仪楼1305(1305)铯原子钟
地点:3211