MEMS力学测试系统
地点:1303白光干涉仪
地点:精仪系103半导体器件分析仪
地点:精仪楼103固体激光器
地点:1204光谱型椭偏仪
地点:1106激光测振仪
地点:精仪楼417激光干涉仪
地点:1201近场光学显微镜控制器
地点:1201马歇特锤击试验机
地点:矢量网络分析仪
地点:1305引线键合机
地点:精仪楼1305(1305)铯原子钟
地点:3211
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