| 仪器名称: | 半导体器件分析仪(编号：11027504) |
| 收费项目 | 计费单位 | 价格 | 收费类型 | 备注 |
| 测试费 | 元/小时 | 300.0 | 自助上机机时费 |
| 仪器名称: | 白光干涉仪(编号：13027621) |
| 收费项目 | 计费单位 | 价格 | 收费类型 | 备注 |
| 白光干涉仪 | 元/小时 | 400.0 | 自助上机机时费 |
| 仪器名称: | 场发射扫描电子显微镜(编号：17042305) |
| 收费项目 | 计费单位 | 价格 | 收费类型 | 备注 |
| ESD测试 | 元/小时 | 100.0 | 自助上机机时费 | 能谱分析 |
| 电镜上机测试 | 元/小时 | 500.0 | 自助上机机时费 |
| 仪器名称: | 超短脉冲激光加工设备(编号：20012129) |
| 收费项目 | 计费单位 | 价格 | 收费类型 | 备注 |
| 超短脉冲激光加工设备 | 元/小时 | 428.0 | 自助上机机时费 |
| 仪器名称: | 高精密探针台系统(编号：21005729) |
| 收费项目 | 计费单位 | 价格 | 收费类型 | 备注 |
| 机时费 | 元/小时 | 300.0 | 自助上机机时费 |
| 仪器名称: | 引线键合机(编号：21017715) |
| 收费项目 | 计费单位 | 价格 | 收费类型 | 备注 |
| 测试加工费用 | 元/小时 | 300.0 | 自助上机机时费 | 如果损坏劈刀（GAISER 625GM-20D CZ8）需赔偿（600元/把） |
| 仪器名称: | 高精度多功能微结构打印机(编号：24011774) |
| 收费项目 | 计费单位 | 价格 | 收费类型 | 备注 |
| 机时费 | 元/小时 | 300.0 | 自助上机机时费 |
| 仪器名称: | 激光测振仪(编号：13001133) |
| 收费项目 | 计费单位 | 价格 | 收费类型 | 备注 |
| 测试费 | 元/小时 | 300.0 | 自助上机机时费 |