等离子体增强沉积系统
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地点:清华大学蒙民伟科技大楼S102电子显微镜
地点:清华大学蒙民伟科技大楼S102干化刻蚀机
地点:清华大学蒙民伟科技大楼S102光刻机
地点:清华大学蒙民伟科技大楼S102集成镀膜系统
地点:清华大学蒙民伟科技大楼S102拉曼光谱仪
地点:蒙民伟科技大楼南楼S102离子注入机
地点:MMW-S320气相沉积系统
地点:清华大学蒙民伟科技大楼S102探针台
地点:清华大学蒙民伟科技大楼S102原子层沉积系统
地点:清华大学蒙民伟科技大楼S102原子力显微镜
地点:蒙民伟科技南楼S102洁净室综合物性测量系统
地点:清华大学蒙民伟科技大楼S102