| 仪器名称: | 原子力显微镜(编号：14008953) |
| 收费项目 | 计费单位 | 价格 | 收费类型 | 备注 |
| 原子力显微镜 | 元/小时 | 800.0 | 自助上机机时费 | 测试费用: 校外、校内、院内价格：800元/小时，最小计费单位15分钟 |
| 仪器名称: | 光刻机(编号：14021847) |
| 收费项目 | 计费单位 | 价格 | 收费类型 | 备注 |
| 光刻机 | 元/小时 | 600.0 | 自助上机机时费 | 测试费：校外、校内、院内价格：600元/小时，最小计费单位15分钟。 |
| 仪器名称: | 探针台(编号：14023181) |
| 收费项目 | 计费单位 | 价格 | 收费类型 | 备注 |
| 探针台 | 元/小时 | 300.0 | 自助上机机时费 | 测试费用: 校外、校内、院内价格：300元/小时，最小计费单位15分钟 |
| 仪器名称: | 集成镀膜系统(编号：14026895) |
| 收费项目 | 计费单位 | 价格 | 收费类型 | 备注 |
| 交叉院超净间 | 元/小时 | 600.0 | 自助上机机时费 | 基础费用 校外价格：600元/批 ，校内价格：600元/批，院内价格：600元/批。 蒸镀厚度最好不要大于100纳米（时长约1小时），因此一批价格也即为一小时价格。普通材料（Ti、Cr、Al、Nb和NbTi） 100nm以下200元，超出部分每10nm 20元 100nm以下200元，超出部分每10nm 20元 100nm以下200元，超出部分每10nm 20元。贵金属（Au） 50nm以下1000元，超出部分每10nm 200元 50nm以下1000元，超出部分每10nm 200元 50nm以下1000元，超出部分每10nm 200元。 |
| 仪器名称: | 电子束蒸发镀膜仪(编号：14027117) |
| 收费项目 | 计费单位 | 价格 | 收费类型 | 备注 |
| 电子束蒸发镀膜仪 | 元/小时 | 600.0 | 自助上机机时费 | 基础费用： 校外、校内、院内价格：600元/批，蒸镀厚度最好不要大于100纳米（时长约1小时），因此一批价格也即为一小时价格；材料（Ti和Al）费：校外、校内、院内价格：100nm以下200元，超出部分每10nm 20元。 |
| 仪器名称: | 电子束曝光机(编号：14030968) |
| 收费项目 | 计费单位 | 价格 | 收费类型 | 备注 |
| 表面形貌表征(SEM功能) | 元/小时 | 600.0 | 自助上机机时费 | |
| 电子束曝光机 | 元/小时 | 1000.0 | 自助上机机时费 | 曝光： 校外、校内、院内价格：1000元/小时，最小计费单位15分钟；表面形貌表征：校外、校内、院内价格：600元/小时，最小计费单位15分钟。 |
| 仪器名称: | 综合物性测量系统(编号：15005657) |
| 收费项目 | 计费单位 | 价格 | 收费类型 | 备注 |
| 综合物性测量系统 | 元/小时 | 600.0 | 自助上机机时费 | 测试费用: 校外、校内、院内价格：600元/小时，最小计费单位15分钟 |
| 仪器名称: | 真空烘箱(编号：15005658) |
| 收费项目 | 计费单位 | 价格 | 收费类型 | 备注 |
| HMDS真空烘箱 | 元/小时 | 200.0 | 自助上机机时费 | 测试费用: 校外、校内、院内价格：200元/小时，最小计费单位15分钟 |
| 仪器名称: | 干化刻蚀机(编号：15006787) |
| 收费项目 | 计费单位 | 价格 | 收费类型 | 备注 |
| 干化刻蚀机 | 元/小时 | 400.0 | 自助上机机时费 | 基础费用： 校外、校内、院内价格：400元/批，刻蚀厚度最好不要大于500纳米（时长约1小时），因此一批价格也即为一小时价格；材料费用：校外、校内、院内价格：≤500nm 300 元，每增加100nm 加100 元。 |
| 仪器名称: | 气相沉积系统(编号：15006788) |
| 收费项目 | 计费单位 | 价格 | 收费类型 | 备注 |
| 等离子体增强化学气相沉积系统 | 元/小时 | 400.0 | 自助上机机时费 | 基础费用：校外价格 400元/批，校内价格 400元/批，院内价格400元/批。生长厚度最好不要大于300纳米（时长约1小时），因此一批价格也即为一小时价格。材料费用：≤300nm 200 元，每增加100nm 加50 元。 |
| 仪器名称: | 原子层沉积系统(编号：15011648) |
| 收费项目 | 计费单位 | 价格 | 收费类型 | 备注 |
| 原子层沉积系统 | 元/小时 | 500.0 | 自助上机机时费 | 基础费，校外、校内、院内价格：500元/批，该设备适合生长厚度较薄的膜，最好不要大于50纳米（时长约1小时），因此一批价格也即为一小时价格；材料费，校外、校内、院内价格：50 nm以下，250元；50 nm以上，每20 nm加100元。 |
| 仪器名称: | 等离子体增强沉积系统(编号：15011649) |
| 收费项目 | 计费单位 | 价格 | 收费类型 | 备注 |
| 等离子体增强化学气相沉积系统 | 元/小时 | 400.0 | 自助上机机时费 | 基础费，校外、校内、院内价格：400元/批，生长厚度最好不要大于300纳米（时长约1小时），因此一批价格也即为一小时价格；材料费，校外、校内、院内价格：≤300nm 200 元，每增加100nm 加50 元。 |
| 仪器名称: | 电子显微镜(编号：15014103) |
| 收费项目 | 计费单位 | 价格 | 收费类型 | 备注 |
| 聚焦离子束-扫描双束电子显微镜 | 元/小时 | 1200.0 | 自助上机机时费 | SEM功能：校外、校内、院内价格：600元/小时，最小计费单位15分钟；FIB刻蚀功能：校外、校内、院内价格：1200元/小时，最小计费单位15分钟；EDAX能谱功能：校外、校内、院内价格：600元/小时 50元/点，最小计费单位15分钟。 |
| 仪器名称: | 拉曼光谱仪(编号：15027023) |
| 收费项目 | 计费单位 | 价格 | 收费类型 | 备注 |
| 拉曼光谱仪 | 元/小时 | 600.0 | 自助上机机时费 | 测试费用: 校外、校内、院内价格：600元/小时，最小计费单位15分钟 |