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多用途亚微米贴片机
地点:罗姆楼1-301
傅立叶红外光谱仪
地点:东主楼11-106
近场分布式光度计
地点:罗姆楼4-306
耦合等离子体刻蚀机
地点:罗姆楼1-301
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