电子束蒸发镀膜系统
地点:复合式影像测量仪
地点:3209高分辨紫外可见及红外分光光谱仪
地点:共聚焦显微拉曼光谱仪
地点:光电器件纳米3D打印系统
地点:光学轮廓仪
地点:3209激光干涉仪
地点:3209激光直写机
地点:近红外多功能分析仪
地点:1106示波器（数字和混合信号示波器测试系统）
地点:数字全息显微镜
地点:3209
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地点:3209激光直写机
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