| 仪器名称: | 感应耦合等离子系统(编号：07013395) |
| 收费项目 | 计费单位 | 价格 | 收费类型 | 备注 |
| 送样刻蚀 | 元/小时 | 800.0 | 自助上机机时费 |
| 仪器名称: | 划片机(编号：10020010) |
| 收费项目 | 计费单位 | 价格 | 收费类型 | 备注 |
| 样品切割 | 元/小时 | 500.0 | 自助上机机时费 |
| 仪器名称: | 紫外光刻机(编号：12013428) |
| 收费项目 | 计费单位 | 价格 | 收费类型 | 备注 |
| 样品紫外光刻 | 元/小时 | 600.0 | 自助上机机时费 |
| 仪器名称: | 扫描电子显微镜(编号：15013632) |
| 收费项目 | 计费单位 | 价格 | 收费类型 | 备注 |
| 测试机时收费 | 元/小时 | 360.0 | 自助上机机时费 |
| 仪器名称: | 原子力显微镜(编号：15018713) |
| 收费项目 | 计费单位 | 价格 | 收费类型 | 备注 |
| 常规测试 | 元/小时 | 450.0 | 自助上机机时费 |