| 仪器名称: | X射线光电子能谱仪(编号：23019092) |
| 收费项目 | 计费单位 | 价格 | 收费类型 | 备注 |
| 常规XPS自主上机测试 | 元/小时 | 700.0 | 自助上机机时费 | 抽真空每批次样品100元，粉末送样压片30元/个（下同） |
| Ar离子刻蚀深度剖析(自主上机) | 元/小时 | 750.0 | 自助上机机时费 | 含XPS采集时间，仅表面清洁：氩离子100元/次 |
| 常规XPS送样测试 | 元/条谱 | 120.0 | 测试费 | 限默认测试参数，微量元素重复循环则累加计费 |
| XPS成像(自主上机) | 元/小时 | 700.0 | 自助上机机时费 | 灯丝发射电流15mA，如需提高每5mA加100元/小时 |
| 准原位XPS反应 | 元/小时 | 300.0 | 测试费 | 占用原位反应系统时间计费，质谱联用加50元/小时 |
| Ar团簇刻蚀深度剖析(自主上机) | 元/小时 | 800.0 | 自助上机机时费 | 含XPS采集时间，仅表面清洁：氩团簇200元/次 |