| 收费项目 |
计费单位 |
价格 |
收费类型 |
备注 |
| 离子束刻蚀 |
元/小时 |
240.0
|
自助上机机时费
|
|
| 收费项目 |
计费单位 |
价格 |
收费类型 |
备注 |
| 光刻机使用指导 |
元/小时 |
80.0
|
自助上机机时费
|
时间向上取整，小时为单位 |
| 自主上机测试费 |
元/小时 |
220.0
|
自助上机机时费
|
光刻版自备 |
| 光刻代工 |
元/小时 |
380.0
|
自助上机机时费
|
1.光刻版自备；2.光刻内容为离子束刻蚀实验室标准流程操作 |
| 收费项目 |
计费单位 |
价格 |
收费类型 |
备注 |
| 自主上机测试费1 |
元/小时 |
880.0
|
自助上机机时费
|
使用离子束刻蚀实验室金丝，金带另外计算 |
| 自主上机测试费2 |
元/小时 |
580.0
|
自助上机机时费
|
自备耗材，包括：金丝或金带，配套的劈刀 |
| 键合代工 |
元/小时 |
1000.0
|
自助上机机时费
|
使用离子束刻蚀实验室金丝等贵重耗材，实验室标准操作 |
| 键合机仪器使用指导 |
元/小时 |
80.0
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自助上机机时费
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时间向上取整 |
| 仪器名称: | 半导体器件测试探针台(编号：19039593) |
| 收费项目 |
计费单位 |
价格 |
收费类型 |
备注 |
| 自主上机测试费 |
元/小时 |
340.0
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自助上机机时费
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开机费450元，长期使用免收开机费 |
| 探针测试代工 |
元/小时 |
500.0
|
自助上机机时费
|
开机费450元，长期使用免收开机费，标准流程操作 |
| 仪器使用指导 |
元/小时 |
80.0
|
自助上机机时费
|
时间向上取整 |
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