| 仪器名称: | 离子束刻蚀机(编号：07001234) |
| 收费项目 | 计费单位 | 价格 | 收费类型 | 备注 |
| 离子束刻蚀 | 元/小时 | 240.0 | 自助上机机时费 |
| 仪器名称: | 键合机(编号：19019277) |
| 收费项目 | 计费单位 | 价格 | 收费类型 | 备注 |
| 自主上机测试费1 | 元/小时 | 880.0 | 自助上机机时费 | 使用离子束刻蚀实验室金丝，金带另外计算 |
| 自主上机测试费2 | 元/小时 | 580.0 | 自助上机机时费 | 自备耗材，包括：金丝或金带，配套的劈刀 |
| 键合代工 | 元/小时 | 1000.0 | 自助上机机时费 | 使用离子束刻蚀实验室金丝等贵重耗材，实验室标准操作 |
| 键合机仪器使用指导 | 元/小时 | 80.0 | 自助上机机时费 | 时间向上取整 |
| 仪器名称: | 半导体器件测试探针台(编号：19039593) |
| 收费项目 | 计费单位 | 价格 | 收费类型 | 备注 |
| 自主上机测试费 | 元/小时 | 340.0 | 自助上机机时费 | 开机费450元，长期使用免收开机费 |
| 探针测试代工 | 元/小时 | 500.0 | 自助上机机时费 | 开机费450元，长期使用免收开机费，标准流程操作 |
| 仪器使用指导 | 元/小时 | 80.0 | 自助上机机时费 | 时间向上取整 |