| 仪器名称: | MA6双面光刻机(编号：00011041) |
| 收费项目 | 计费单位 | 价格 | 收费类型 | 备注 |
| 厚胶光刻 | 元/小时 | 600.0 | 自助上机机时费 |
| 仪器名称: | MA8双面光刻机(编号：16041493) |
| 收费项目 | 计费单位 | 价格 | 收费类型 | 备注 |
| 自主上机预约 | 元/小时 | 800.0 | 自助上机机时费 |
| 仪器名称: | 电子束光刻机(编号：16041494) |
| 收费项目 | 计费单位 | 价格 | 收费类型 | 备注 |
| 送样测试 | 元/小时 | 1800.0 | 测试费 | |
| 上机实验 | 元/小时 | 1800.0 | 自助上机机时费 |
| 仪器名称: | 激光直写系统(编号：17002190) |
| 收费项目 | 计费单位 | 价格 | 收费类型 | 备注 |
| 激光直写工艺 | 元/小时 | 800.0 | 自助上机机时费 | |
| 委托加工 | 元/小时 | 800.0 | 测试费 |
| 仪器名称: | 佳能光刻机(编号：80424600) |
| 收费项目 | 计费单位 | 价格 | 收费类型 | 备注 |
| 送样 | 元/小时 | 400.0 | 测试费 | |
| 上机预约 | 元/小时 | 400.0 | 自助上机机时费 |
| 仪器名称: | 光刻机（LED)(编号：93239900) |
| 收费项目 | 计费单位 | 价格 | 收费类型 | 备注 |
| 上机预约 | 元/小时 | 400.0 | 自助上机机时费 | |
| 送样测试 | 元/小时 | 400.0 | 测试费 |
| 仪器名称: | 光刻机(汞灯)(编号：94137300) |
| 收费项目 | 计费单位 | 价格 | 收费类型 | 备注 |
| 送样 | 元/小时 | 400.0 | 测试费 | |
| 上机预约 | 元/小时 | 400.0 | 自助上机机时费 |
| 仪器名称: | 光电所光刻机（汞灯）(编号：A18000070) |
| 收费项目 | 计费单位 | 价格 | 收费类型 | 备注 |
| 送样 | 元/小时 | 400.0 | 测试费 | |
| 上机预约 | 元/小时 | 400.0 | 自助上机机时费 |
| 仪器名称: | 光电所光刻机（LED)(编号：A18000071) |
| 收费项目 | 计费单位 | 价格 | 收费类型 | 备注 |
| 送样 | 元/小时 | 400.0 | 测试费 | |
| 上机预约 | 元/小时 | 400.0 | 自助上机机时费 |
| 仪器名称: | ICP设备(刻蚀机)(编号：02001849) |
| 收费项目 | 计费单位 | 价格 | 收费类型 | 备注 |
| 深硅刻蚀 | 元/片 | 800.0 | 测试费 | 刻蚀深度≤30μm，800元/片，＞30μm的部分，加收150元/10μm |
| 仪器名称: | NICP刻蚀机(编号：02011812) |
| 收费项目 | 计费单位 | 价格 | 收费类型 | 备注 |
| 刻蚀 | 元/小时 | 300.0 | 自助上机机时费 | |
| 送样刻蚀 | 元/小时 | 300.0 | 测试费 |
| 仪器名称: | ICP刻蚀机-F(编号：13015108) |
| 收费项目 | 计费单位 | 价格 | 收费类型 | 备注 |
| 送样刻蚀 | 元/小时 | 800.0 | 测试费 | |
| 介质刻蚀 | 元/小时 | 800.0 | 自助上机机时费 |
| 仪器名称: | ICP刻蚀机-Cl(编号：13015109) |
| 收费项目 | 计费单位 | 价格 | 收费类型 | 备注 |
| 送样刻蚀 | 元/小时 | 800.0 | 测试费 | |
| 金属刻蚀 | 元/小时 | 800.0 | 自助上机机时费 |
| 仪器名称: | 硅深刻蚀系统(编号：16041492) |
| 收费项目 | 计费单位 | 价格 | 收费类型 | 备注 |
| 深硅刻蚀 | 元/小时 | 1500.0 | 测试费 | 单片100微米以内 |
| 刻蚀加工费 | 元/小时 | 1500.0 | 自助上机机时费 | 单片100微米以内 |
| 仪器名称: | 离子束刻蚀机(编号：16046524) |
| 收费项目 | 计费单位 | 价格 | 收费类型 | 备注 |
| 送样刻蚀 | 元/小时 | 800.0 | 测试费 | |
| 自主刻蚀 | 元/小时 | 800.0 | 自助上机机时费 |
| 仪器名称: | 反应离子蚀刻机(编号：85427700) |
| 收费项目 | 计费单位 | 价格 | 收费类型 | 备注 |
| 送样刻蚀 | 元/小时 | 300.0 | 测试费 | |
| 自主刻蚀 | 元/小时 | 300.0 | 自助上机机时费 |
| 仪器名称: | 去胶设备(等离子光刻)(编号：90175600) |
| 收费项目 | 计费单位 | 价格 | 收费类型 | 备注 |
| 送样刻蚀 | 元/小时 | 300.0 | 测试费 | |
| 送样去胶 | 元/小时 | 300.0 | 自助上机机时费 |
| 仪器名称: | 国产溅射台(编号：02011815) |
| 收费项目 | 计费单位 | 价格 | 收费类型 | 备注 |
| 送样溅射 | 元/小时 | 400.0 | 测试费 | |
| 国产溅射台 | 元/小时 | 400.0 | 自助上机机时费 | 溅射Pt、Au等贵金属，收材料费100元/10nm |
| 仪器名称: | 快速退火炉(编号：04011389) |
| 收费项目 | 计费单位 | 价格 | 收费类型 | 备注 |
| 快速退火机时费 | 元/小时 | 300.0 | 自助上机机时费 | |
| 快速退火送样测试费 | 元/小时 | 300.0 | 测试费 |
| 仪器名称: | BENEQ 原子层沉积系统(编号：09016504) |
| 收费项目 | 计费单位 | 价格 | 收费类型 | 备注 |
| 送样收费标准 | 元/小时 | 400.0 | 自助上机机时费 |
| 仪器名称: | 合金炉(编号：11013950) |
| 收费项目 | 计费单位 | 价格 | 收费类型 | 备注 |
| 合金炉-机时费 | 元/小时 | 400.0 | 自助上机机时费 | |
| 合金炉-送样测试费 | 元/小时 | 400.0 | 测试费 |
| 仪器名称: | 全自动磁控溅射系统(编号：12024341) |
| 收费项目 | 计费单位 | 价格 | 收费类型 | 备注 |
| 氧化硅溅射 | 元/小时 | 350.0 | 自助上机机时费 | 1μm以下 |
| 仪器名称: | LAB18薄膜沉积系统(编号：12028282) |
| 收费项目 | 计费单位 | 价格 | 收费类型 | 备注 |
| LAB18送样溅射 | 元/小时 | 600.0 | 测试费 | Au、Pt等贵金属增加100元/10nm |
| LAB18溅射 | 元/小时 | 600.0 | 自助上机机时费 | Au、Pt等贵金属增加100元/10nm |
| 仪器名称: | 磁控溅射镀膜机(编号：13001328) |
| 收费项目 | 计费单位 | 价格 | 收费类型 | 备注 |
| 双腔溅射 | 元/小时 | 400.0 | 自助上机机时费 | 贵重金属加收材料费100元/10nm |
| 双腔送样溅射 | 元/小时 | 400.0 | 测试费 | 贵重金属加收材料费100元/10nm |
| 仪器名称: | 化学气相沉积系统(编号：13003987) |
| 收费项目 | 计费单位 | 价格 | 收费类型 | 备注 |
| 送样 | 元/小时 | 500.0 | 测试费 | |
| PECVD淀积 | 元/小时 | 500.0 | 自助上机机时费 |
| 仪器名称: | 高真空电子束蒸发系统(编号：14030917) |
| 收费项目 | 计费单位 | 价格 | 收费类型 | 备注 |
| 上机费 | 元/小时 | 800.0 | 自助上机机时费 | |
| 送样测试费 | 元/小时 | 800.0 | 测试费 |
| 仪器名称: | 薄膜溅射沉积系统(编号：16041495) |
| 收费项目 | 计费单位 | 价格 | 收费类型 | 备注 |
| 送样 | 元/小时 | 450.0 | 测试费 | |
| 薄膜沉积 | 元/小时 | 450.0 | 自助上机机时费 |
| 仪器名称: | PICOSUN 原子层沉积系统(编号：16041497) |
| 收费项目 | 计费单位 | 价格 | 收费类型 | 备注 |
| 原子层沉积系统 ALD -送样测试费 | 元/小时 | 800.0 | 测试费 | |
| 原子层沉积系统 ALD -机时费 | 元/小时 | 800.0 | 自助上机机时费 |
| 仪器名称: | 多靶位磁控溅射系统(编号：21012328) |
| 收费项目 | 计费单位 | 价格 | 收费类型 | 备注 |
| 自助上机机时费 | 元/小时 | 450.0 | 自助上机机时费 |
| 仪器名称: | 多腔室物理气相沉积系统Polaris G620(编号：21012470) |
| 收费项目 | 计费单位 | 价格 | 收费类型 | 备注 |
| Degas/PCII/TiN/Al | 元/小时 | 1200.0 | 测试费 | |
| Al/Degas / PCII /TiN | 元/小时 | 1200.0 | 自助上机机时费 |
| 仪器名称: | THERMCO 氧化LPCVD(编号：21014796) |
| 收费项目 | 计费单位 | 价格 | 收费类型 | 备注 |
| 氮化硅-送样测试费 | 元/小时 | 800.0 | 测试费 | THERMCO设备 氮化硅工艺 送样测试费 |
| THERMCO（栅氧）-送样测试费 | 元/小时 | 600.0 | 测试费 | THERMCO设备 栅氧工艺 送样测试费 |
| 多晶-送样测试费 | 元/小时 | 800.0 | 测试费 | THERMCO设备 多晶工艺 送样测试费 |
| THERMCO（栅氧）-机时费 | 元/小时 | 600.0 | 自助上机机时费 | |
| 多晶-机时费 | 元/小时 | 800.0 | 自助上机机时费 | |
| THERMCO （场氧）-机时费 | 元/小时 | 600.0 | 自助上机机时费 | |
| 氮化硅-机时费 | 元/小时 | 800.0 | 自助上机机时费 | |
| THERMCO（场氧）-送样测试费 | 元/小时 | 600.0 | 测试费 | THERMCO设备 场氧工艺 送样测试费 |
| 仪器名称: | 装入取出式等离子化学气相沉积设备(编号：22044759) |
| 收费项目 | 计费单位 | 价格 | 收费类型 | 备注 |
| 氮氧化硅薄膜淀积 | 元/小时 | 800.0 | 自助上机机时费 | |
| 非晶硅薄膜淀积 | 元/小时 | 800.0 | 自助上机机时费 | |
| 氮化硅薄膜淀积 | 元/小时 | 800.0 | 自助上机机时费 | |
| 氧化硅薄膜淀积 | 元/小时 | 800.0 | 自助上机机时费 |
| 仪器名称: | 电感耦合等离子增强·化学气相沉积系统(编号：22044761) |
| 收费项目 | 计费单位 | 价格 | 收费类型 | 备注 |
| 氧化硅薄膜淀积 | 元/小时 | 800.0 | 自助上机机时费 | |
| 非晶硅薄膜淀积 | 元/小时 | 800.0 | 自助上机机时费 | |
| 氮氧化硅薄膜淀积 | 元/小时 | 800.0 | 自助上机机时费 | |
| 氮化硅薄膜淀积 | 元/小时 | 800.0 | 自助上机机时费 |
| 仪器名称: | 清洗机(编号：11023084) |
| 收费项目 | 计费单位 | 价格 | 收费类型 | 备注 |
| 送样清洗 | 元/小时 | 350.0 | 测试费 | |
| 清洗 | 元/小时 | 350.0 | 自助上机机时费 |
| 仪器名称: | 半导体参数测试仪(编号：02010120) |
| 收费项目 | 计费单位 | 价格 | 收费类型 | 备注 |
| Keithley 4200SCS测试 | 元/时 | 300.0 | 测试费 | |
| 测试费 | 元/小时 | 300.0 | 自助上机机时费 |
| 仪器名称: | 膜厚测试仪(编号：06004277) |
| 收费项目 | 计费单位 | 价格 | 收费类型 | 备注 |
| 膜厚仪-送样 | 元/小时 | 150.0 | 测试费 | |
| 膜厚仪 | 元/小时 | 150.0 | 自助上机机时费 |
| 仪器名称: | 四探针薄层电阻测试仪(编号：06013029) |
| 收费项目 | 计费单位 | 价格 | 收费类型 | 备注 |
| 四探针电阻-送样 | 元/小时 | 200.0 | 测试费 | |
| 四探针电阻 | 元/小时 | 200.0 | 自助上机机时费 |
| 仪器名称: | 椭圆偏振光谱仪(编号：10013202) |
| 收费项目 | 计费单位 | 价格 | 收费类型 | 备注 |
| 椭偏仪测试-送样 | 元/小时 | 300.0 | 测试费 | |
| 椭偏仪测试 | 元/小时 | 300.0 | 自助上机机时费 |
| 仪器名称: | 金相显微镜(编号：11001102) |
| 收费项目 | 计费单位 | 价格 | 收费类型 | 备注 |
| 金相显微镜-送样 | 元/小时 | 50.0 | 测试费 | |
| 金相显微镜 | 元/小时 | 50.0 | 自助上机机时费 |
| 仪器名称: | 矢量网络分析仪(编号：11026312) |
| 收费项目 | 计费单位 | 价格 | 收费类型 | 备注 |
| 变温片上S/X参数测试 | 元/时 | 600.0 | 测试费 | |
| 常温片上S，X参数测试 | 元/时 | 500.0 | 测试费 |
| 仪器名称: | 半导体器件分析仪(编号：12006208) |
| 收费项目 | 计费单位 | 价格 | 收费类型 | 备注 |
| 变温、脉冲半导体参数测试 | 元/时 | 500.0 | 测试费 | 变温测试或者常温脉冲测试 |
| 常温半导体参数测试 | 元/时 | 400.0 | 测试费 | 常温IV，C-V测试 |
| 仪器名称: | 薄膜应力计(编号：12030409) |
| 收费项目 | 计费单位 | 价格 | 收费类型 | 备注 |
| 测量薄膜应力 | 元/小时 | 400.0 | 测试费 | |
| 测试费 | 元/小时 | 400.0 | 自助上机机时费 |
| 仪器名称: | 网络分析仪(编号：13024723) |
| 收费项目 | 计费单位 | 价格 | 收费类型 | 备注 |
| S/X参数测试 | 元/时 | 500.0 | 测试费 |
| 仪器名称: | 热场发射扫描电镜(编号：15008701) |
| 收费项目 | 计费单位 | 价格 | 收费类型 | 备注 |
| 上机测试 | 元/小时 | 400.0 | 自助上机机时费 | |
| 送样测试 | 元/小时 | 400.0 | 测试费 |
| 仪器名称: | 数字全息显微镜(编号：19010239) |
| 收费项目 | 计费单位 | 价格 | 收费类型 | 备注 |
| 后处理费用 | 元/小时 | 100.0 | 自助上机机时费 | |
| 测试费 | 元/小时 | 250.0 | 自助上机机时费 |
| 仪器名称: | 扫描探针显微镜系统(编号：20004384) |
| 收费项目 | 计费单位 | 价格 | 收费类型 | 备注 |
| 扫描探针显微镜-送样 | 元/小时 | 350.0 | 测试费 | |
| 扫描探针显微镜-原子力 | 元/小时 | 350.0 | 自助上机机时费 |
| 仪器名称: | 高分辨场发射扫描电镜(编号：20009957) |
| 收费项目 | 计费单位 | 价格 | 收费类型 | 备注 |
| SEM自主上机 | 元/小时 | 700.0 | 自助上机机时费 |
| 仪器名称: | 扫描微波阻抗显微镜（sMIM）(编号：20009958) |
| 收费项目 | 计费单位 | 价格 | 收费类型 | 备注 |
| 探针费用 | 元/小时 | 200.0 | 自助上机机时费 | |
| 扫描微波阻抗显微镜 | 元/小时 | 500.0 | 自助上机机时费 |
| 仪器名称: | 台式扫描电子显微镜(编号：20023020) |
| 收费项目 | 计费单位 | 价格 | 收费类型 | 备注 |
| 上机收费 | 元/小时 | 200.0 | 自助上机机时费 |
| 仪器名称: | 台阶仪(编号：21012469) |
| 收费项目 | 计费单位 | 价格 | 收费类型 | 备注 |
| 送样测试 | 元/小时 | 150.0 | 测试费 | |
| 自主上机测试 | 元/小时 | 150.0 | 自助上机机时费 |
| 仪器名称: | 薄膜电阻测量仪(编号：22006927) |
| 收费项目 | 计费单位 | 价格 | 收费类型 | 备注 |
| 薄膜方块电阻测试 | 元/小时 | 200.0 | 自助上机机时费 | 自主上机测试/送样测试 |
| 仪器名称: | 拉曼光谱测试仪(编号：22017649) |
| 收费项目 | 计费单位 | 价格 | 收费类型 | 备注 |
| 325nm激光器测试 | 元/小时 | 500.0 | 自助上机机时费 | |
| 532nm激光器测试 | 元/小时 | 450.0 | 自助上机机时费 |
| 仪器名称: | 氦氖镓三束微纳离子显微镜(编号：23010076) |
| 收费项目 | 计费单位 | 价格 | 收费类型 | 备注 |
| 自主上机 | 元/小时 | 1200.0 | 自助上机机时费 |
| 仪器名称: | 台阶仪（P17）(编号：23014342) |
| 收费项目 | 计费单位 | 价格 | 收费类型 | 备注 |
| 轮廓测试/台阶高度测试/应力测试 | 元/小时 | 200.0 | 测试费 | |
| 台阶高度测试/应力测试/轮廓测试 | 元/小时 | 200.0 | 自助上机机时费 |
| 仪器名称: | FIB聚焦离子束系统(编号：24008576) |
| 收费项目 | 计费单位 | 价格 | 收费类型 | 备注 |
| 自主上机 | 元/小时 | 1200.0 | 自助上机机时费 |
| 仪器名称: | 场发射扫描电镜(编号：A14000006) |
| 收费项目 | 计费单位 | 价格 | 收费类型 | 备注 |
| 样品观测及测量 | 元/小时 | 360.0 | 自助上机机时费 |
| 仪器名称: | 表面轮廓仪(编号：A14000012) |
| 收费项目 | 计费单位 | 价格 | 收费类型 | 备注 |
| 送样测试费 | 元/小时 | 150.0 | 测试费 | |
| 上机测试费 | 元/小时 | 150.0 | 自助上机机时费 |
| 仪器名称: | 金相显微镜MX61-1(编号：A17000004) |
| 收费项目 | 计费单位 | 价格 | 收费类型 | 备注 |
| 金相显微镜测试 | 元/小时 | 50.0 | 自助上机机时费 |
| 仪器名称: | 金相显微镜MX61-2(编号：A17000005) |
| 收费项目 | 计费单位 | 价格 | 收费类型 | 备注 |
| 金相显微镜-送样 | 元/小时 | 50.0 | 测试费 | |
| 金相显微镜测试 | 元/小时 | 50.0 | 自助上机机时费 |
| 仪器名称: | 光学膜厚测量仪(编号：A18000072) |
| 收费项目 | 计费单位 | 价格 | 收费类型 | 备注 |
| 膜厚仪-送样 | 元/小时 | 150.0 | 测试费 | |
| 光学膜厚测量 | 元/小时 | 150.0 | 自助上机机时费 |
| 仪器名称: | 共聚焦显微镜系统(编号：A18000075) |
| 收费项目 | 计费单位 | 价格 | 收费类型 | 备注 |
| 共聚焦显微镜送样 | 元/小时 | 200.0 | 测试费 | |
| 共聚焦显微镜测试 | 元/小时 | 200.0 | 自助上机机时费 |
| 仪器名称: | 金相显微镜Leica(编号：A19000001) |
| 收费项目 | 计费单位 | 价格 | 收费类型 | 备注 |
| 送样测试 | 元/小时 | 50.0 | 测试费 | |
| 自主上机 | 元/小时 | 50.0 | 自助上机机时费 |
| 仪器名称: | 电子背散射衍射（EBSD）(编号：A21000029) |
| 收费项目 | 计费单位 | 价格 | 收费类型 | 备注 |
| 电子背散射衍射 | 元/小时 | 700.0 | 自助上机机时费 |
| 仪器名称: | X射线光电子能谱分析仪(编号：A21000033) |
| 收费项目 | 计费单位 | 价格 | 收费类型 | 备注 |
| X射线光电子能谱仪 | 元/小时 | 600.0 | 自助上机机时费 | 抽真空时间按照30%时间计费 |
| 仪器名称: | 原子力显微镜(编号：A24000060) |
| 收费项目 | 计费单位 | 价格 | 收费类型 | 备注 |
| 原子力显微镜 | 元/小时 | 500.0 | 自助上机机时费 |
| 仪器名称: | 金相抛磨机(编号：04009981) |
| 收费项目 | 计费单位 | 价格 | 收费类型 | 备注 |
| 普通样品 自主上机机时费 | 元/小时 | 700.0 | 自助上机机时费 | |
| 陶瓷样品 送样测试费 | 元/个 | 1200.0 | 测试费 | |
| 陶瓷样品 自主上机机时费 | 元/小时 | 1200.0 | 自助上机机时费 | |
| 普通样品 送样测试费 | 元/个 | 700.0 | 测试费 |
| 仪器名称: | 小型冷热冲击试验箱(编号：10024261) |
| 收费项目 | 计费单位 | 价格 | 收费类型 | 备注 |
| 送样测试费 | 元/小时 | 60.0 | 自助上机机时费 | 最小按1小时计量，超过1小时部分，以15分钟为计费单元 |
| 自主上机机时费 | 元/小时 | 60.0 | 自助上机机时费 | 最小按1小时计量，超过1小时部分，以15分钟为计费单元 |
| 仪器名称: | 小型环境试验箱(编号：11015033) |
| 收费项目 | 计费单位 | 价格 | 收费类型 | 备注 |
| 自主上机机时费 | 元/小时 | 50.0 | 自助上机机时费 | |
| 送样测试费 | 元/小时 | 50.0 | 测试费 |
| 仪器名称: | X射线检测系统(编号：11027004) |
| 收费项目 | 计费单位 | 价格 | 收费类型 | 备注 |
| 机时费 | 元/小时 | 2400.0 | 自助上机机时费 | 设备工程师操作，最少按1小时计算，超过1小时部分，以15分钟为计费单元。 |
| 自主上机机时测试费 | 元/小时 | 2400.0 | 自助上机机时费 | 设备工程师操作，最少按1小时计算，超过1小时部分，以15分钟为计费单元。 |
| 送样测试费 | 元/小时 | 2400.0 | 自助上机机时费 | 设备工程师操作，最少按1小时计算，超过1小时部分，以15分钟为计费单元。 |
| 仪器名称: | 桌上型点胶机(编号：11029360) |
| 收费项目 | 计费单位 | 价格 | 收费类型 | 备注 |
| 送样测试费 | 元/小时 | 240.0 | 测试费 | |
| 自主上机机时费 | 元/小时 | 240.0 | 自助上机机时费 | |
| 点胶材料费 | 元/批 | 1000.0 | 材料费 | 按选择胶种类计费，一次性使用（如underfill一管2000元） |
| 仪器名称: | 半自动激光锡球点焊机(编号：11029728) |
| 收费项目 | 计费单位 | 价格 | 收费类型 | 备注 |
| 送样测试费 | 元/小时 | 2400.0 | 测试费 | 设备工程师操作 |
| 自主上机机时费 | 元/小时 | 2400.0 | 自助上机机时费 | |
| 开机费 | 元/次 | 50000.0 | 测试费 | 按次收取开机费 |
| 仪器名称: | 贴片机(编号：11029777) |
| 收费项目 | 计费单位 | 价格 | 收费类型 | 备注 |
| 自主上机费 | 元/小时 | 240.0 | 自助上机机时费 | 培训后可自己操作 |
| 贴片材料费 | 元 | 1000.0 | 材料费 | 按实际选择贴片胶材料议价 |
| 送样测试费 | 元/小时 | 240.0 | 测试费 | 培训后可自己操作 |
| 仪器名称: | 拉力剪切力测试仪(编号：11029967) |
| 收费项目 | 计费单位 | 价格 | 收费类型 | 备注 |
| 测试费 | 元/小时 | 360.0 | 测试费 | 培训考核后自行操作，最小按1小时计量，超过1小时部分，以15分钟为计费单元。 |
| 自主上机机时费 | 元/小时 | 360.0 | 自助上机机时费 | 培训考核后自行操作，最小按1小时计量，超过1小时部分，以15分钟为计费单元。 |
| 仪器名称: | 倒装键合机(编号：12001824) |
| 收费项目 | 计费单位 | 价格 | 收费类型 | 备注 |
| 自主上机机时费 | 元/小时 | 600.0 | 自助上机机时费 | 培训后可自己上机操作，1小时以内按1小时计，超过1小时部分，以15分钟为计费单元。 |
| 送样测试费 | 元/小时 | 600.0 | 测试费 | 培训后可自己上机操作，1小时以内按1小时计，超过1小时部分，以15分钟为计费单元。 |
| 仪器名称: | 丝网印刷机(编号：12002078) |
| 收费项目 | 计费单位 | 价格 | 收费类型 | 备注 |
| 送样加工费 | 元/小时 | 600.0 | 测试费 | 按半小时为单位计费 |
| 自主上机机时费 | 元/小时 | 600.0 | 自助上机机时费 | 按半小时为单位计费 |
| 设备开机费 | 元/小时 | 6000.0 | 测试费 | 印刷网版自备 |
| 仪器名称: | 超声检测设备(编号：12006229) |
| 收费项目 | 计费单位 | 价格 | 收费类型 | 备注 |
| 低频探头15、30、75、100 、150MHz | 元/小时 | 800.0 | 自助上机机时费 | 固体内部缺陷检测，设备工程师操作，1小时以内按1小时算。 超过1小时部分，以30分钟为计费单元。 |
| 高频探头230MHz、400MHz | 元/小时 | 1200.0 | 自助上机机时费 | 固体表面/亚表面缺陷检测，设备工程师操作，1小时以内按1小时算。 超过1小时部分，以30分钟为计费单元。 |
| 低频探头（150MHz及以下）自主上机测试费 | 元/小时 | 800.0 | 自助上机机时费 | 1小时以内按1小时算。 超过1小时部分，以30分钟为计费单元。 |
| 高频探头（230MHz及以上）自主上机测试费 | 元/小时 | 1200.0 | 自助上机机时费 | 固体表面/亚表面缺陷检测，设备工程师操作，1小时以内按1小时算。 超过1小时部分，以30分钟为计费单元。 |
| 低频探头（150MHz及以下）送样测试费 | 元/小时 | 800.0 | 测试费 | 固体内部缺陷检测，设备工程师操作，1小时以内按1小时算。 超过1小时部分，以30分钟为计费单元。 |
| 高频探头（230MHz及以上）送样测试费 | 元/小时 | 1200.0 | 测试费 | 固体表面/亚表面缺陷检测，设备工程师操作，1小时以内按1小时算。 超过1小时部分，以30分钟为计费单元。 |
| 仪器名称: | 精确温度循环系统(编号：12006709) |
| 收费项目 | 计费单位 | 价格 | 收费类型 | 备注 |
| 自主上机机时费 | 元/小时 | 120.0 | 自助上机机时费 | 最小按照1小时计费，超过1小时部分，以15分钟为计费单元。 |
| 送样测试费 | 元/小时 | 120.0 | 测试费 | 最小按照1小时计费，超过1小时部分，以15分钟为计费单元。 |
| 仪器名称: | 晶圆键合机(编号：13003988) |
| 收费项目 | 计费单位 | 价格 | 收费类型 | 备注 |
| 自主上机机时费 | 元/小时 | 2000.0 | 自助上机机时费 | 设备工程师操作，最少按1小时计费，超过1小时部分，以15分钟为计费单元 |
| 送样测试费 | 元/小时 | 2000.0 | 测试费 | 设备工程师操作，最少按1小时计费，超过1小时部分，以15分钟为计费单元 |
| 仪器名称: | 自动打线机(编号：13008618) |
| 收费项目 | 计费单位 | 价格 | 收费类型 | 备注 |
| 送样测试费 | 元/小时 | 800.0 | 测试费 | |
| 自主上机机时费 | 元/小时 | 800.0 | 自助上机机时费 | 设备工程师操作 |
| 设备开机费 | 元/批 | 2000.0 | 测试费 | 设备工程师操作 |
| 仪器名称: | 晶片键合机(编号：13015858) |
| 收费项目 | 计费单位 | 价格 | 收费类型 | 备注 |
| 晶圆键合 | 元/小时 | 1500.0 | 自助上机机时费 | |
| 玻璃硅阳极键合 | 元/小时 | 1500.0 | 自助上机机时费 |
| 仪器名称: | 电子万能试验机(编号：14011860) |
| 收费项目 | 计费单位 | 价格 | 收费类型 | 备注 |
| 常温循环（三点四点弯）送样测试费 | 元/小时 | 400.0 | 测试费 | 以小时为最低计量单位 |
| 常温循环（三点四点弯）自主上机机时费 | 元/小时 | 400.0 | 自助上机机时费 | 以小时为最低计量单位 |
| 仪器名称: | 化学机械抛光设备(编号：17002191) |
| 收费项目 | 计费单位 | 价格 | 收费类型 | 备注 |
| 委托加工 | 元/小时 | 700.0 | 自助上机机时费 | |
| 化学机械抛光 | 元/小时 | 700.0 | 自助上机机时费 |
| 仪器名称: | 倒装键合机(编号：21018517) |
| 收费项目 | 计费单位 | 价格 | 收费类型 | 备注 |
| 自主上机机时测试费 | 元/小时 | 1400.0 | 自助上机机时费 | |
| 送样测试费 | 元/小时 | 1600.0 | 自助上机机时费 |
| 仪器名称: | 三离子束切割仪(编号：22001929) |
| 收费项目 | 计费单位 | 价格 | 收费类型 | 备注 |
| 测试费 | 元/小时 | 400.0 | 自助上机机时费 | 用户经过培训合格后独立操作，最少按0.5小时计算。 |
| 仪器名称: | 引线键合机(编号：22025214) |
| 收费项目 | 计费单位 | 价格 | 收费类型 | 备注 |
| 设备使用费用 | 元/小时 | 430.0 | 自助上机机时费 | 劈刀损坏需赔偿1050元 |
| 仪器名称: | TXP精研一体机(编号：22032921) |
| 收费项目 | 计费单位 | 价格 | 收费类型 | 备注 |
| 自主上机测试费 | 元/小时 | 600.0 | 自助上机机时费 | 用户经过培训合格后独立操作，最少按0.5小时计算，超过0.5小时部分，以15分钟为计费单元。 |
| 仪器名称: | 晶圆金属化层湿法沉积系统(编号：22034031) |
| 收费项目 | 计费单位 | 价格 | 收费类型 | 备注 |
| 电化学沉积加工费 | 元/小时 | 400.0 | 自助上机机时费 | 用户经过培训合格后独立操作，最少按0.5小时计算。 |
| 化学沉积系统加工费 | 元/小时 | 900.0 | 自助上机机时费 | 用户经过培训合格后独立操作，最少按0.5小时计算。 |
| 仪器名称: | 阴影云纹(编号：23030829) |
| 收费项目 | 计费单位 | 价格 | 收费类型 | 备注 |
| 加工测试费（常温） | 元/小时 | 1000.0 | 自助上机机时费 | |
| 加工测试费（高温） | 元/小时 | 1200.0 | 自助上机机时费 |
| 仪器名称: | DAD3350半自动切割机(编号：A19000006) |
| 收费项目 | 计费单位 | 价格 | 收费类型 | 备注 |
| 送样费 | 元/小时 | 500.0 | 测试费 | |
| 上机费 | 元/小时 | 500.0 | 自助上机机时费 |
| 仪器名称: | 信号分析仪-Keysight N9010B(编号：18002777) |
| 收费项目 | 计费单位 | 价格 | 收费类型 | 备注 |
| 信号分析仪测试费 | 元/小时 | 100.0 | 自助上机机时费 |
| 仪器名称: | 矢量信号发生器-Keysight E8267D(编号：18002778) |
| 收费项目 | 计费单位 | 价格 | 收费类型 | 备注 |
| 矢量信号发生器测试费 | 元/小时 | 80.0 | 自助上机机时费 |
| 仪器名称: | 网络分析仪-Keysight E5071C(编号：18002779) |
| 收费项目 | 计费单位 | 价格 | 收费类型 | 备注 |
| 网络分析仪测试费 | 元/小时 | 40.0 | 自助上机机时费 |
| 仪器名称: | 高清示波器-Keysight MSOS804A(编号：18002780) |
| 收费项目 | 计费单位 | 价格 | 收费类型 | 备注 |
| 高清示波器测试费 | 元/小时 | 80.0 | 自助上机机时费 |
| 仪器名称: | 高速存储自动测试系统-ADVANTEST T5830ES(编号：18007126) |
| 收费项目 | 计费单位 | 价格 | 收费类型 | 备注 |
| 高速存储器自动测试系统测试费 | 元/小时 | 130.0 | 自助上机机时费 |
| 仪器名称: | 手动探针台-Semishare SH-12(编号：18026682) |
| 收费项目 | 计费单位 | 价格 | 收费类型 | 备注 |
| 手动探针台测试费 | 元/小时 | 80.0 | 自助上机机时费 |
| 仪器名称: | 存储器老化测试系统-IT&T B3000ES(编号：18026683) |
| 收费项目 | 计费单位 | 价格 | 收费类型 | 备注 |
| 存储器老化测试系统测试费 | 元/小时 | 120.0 | 自助上机机时费 |
| 仪器名称: | 误码率测试仪-Tektronix BSX320(编号：18030303) |
| 收费项目 | 计费单位 | 价格 | 收费类型 | 备注 |
| 误码率测试仪测试费 | 元/小时 | 500.0 | 自助上机机时费 |
| 仪器名称: | 高清示波器1-Keysight DSOS254A(编号：18502218) |
| 收费项目 | 计费单位 | 价格 | 收费类型 | 备注 |
| 高清示波器测试费 | 元/小时 | 40.0 | 自助上机机时费 |
| 仪器名称: | 高清示波器2-Keysight DSOS254A(编号：18502219) |
| 收费项目 | 计费单位 | 价格 | 收费类型 | 备注 |
| 高清示波器测试费 | 元/小时 | 40.0 | 自助上机机时费 |
| 仪器名称: | 59GHz 高宽带示波器-Keysight DSAZ594A(编号：18502294) |
| 收费项目 | 计费单位 | 价格 | 收费类型 | 备注 |
| 59GHz高宽带示波器测试费 | 元/小时 | 500.0 | 自助上机机时费 |
| 仪器名称: | 任意波形发生器-Tektronix AWG70001A(编号：18502295) |
| 收费项目 | 计费单位 | 价格 | 收费类型 | 备注 |
| 任意波形发生器测试费 | 元/小时 | 200.0 | 自助上机机时费 |
| 仪器名称: | 高性能逻辑分析系统-Tektronix TLA7012(编号：18502296) |
| 收费项目 | 计费单位 | 价格 | 收费类型 | 备注 |
| 高性能逻辑分析系统测试费 | 元/小时 | 200.0 | 自助上机机时费 |
| 仪器名称: | 120GHZ毫米波在片网络分析仪测试系统-Keysight N5291A(编号：18502297) |
| 收费项目 | 计费单位 | 价格 | 收费类型 | 备注 |
| 120GHz 毫米波在片网络分析仪测试系统测试费 | 元/小时 | 800.0 | 自助上机机时费 |
| 仪器名称: | 阻抗分析仪-Keysight E4990A(编号：18502352) |
| 收费项目 | 计费单位 | 价格 | 收费类型 | 备注 |
| 阻抗分析仪测试费 | 元/小时 | 70.0 | 自助上机机时费 |
| 仪器名称: | 逻辑分析仪1-Tektronix TLA6404(编号：18502641) |
| 收费项目 | 计费单位 | 价格 | 收费类型 | 备注 |
| 基础逻辑分析仪测试费 | 元/小时 | 60.0 | 自助上机机时费 |
| 仪器名称: | 逻辑分析仪2-Tektronix TLA6404(编号：18502642) |
| 收费项目 | 计费单位 | 价格 | 收费类型 | 备注 |
| 基础逻辑分析仪测试费 | 元/小时 | 60.0 | 自助上机机时费 |
| 仪器名称: | ESD闩锁测试系统-Hanwa HED-S5000R&HED-C5000R(编号：18503446) |
| 收费项目 | 计费单位 | 价格 | 收费类型 | 备注 |
| ESD闩锁测试系统测试费 | 元/小时 | 400.0 | 自助上机机时费 |
| 仪器名称: | 硬件加速器系统-Mentor Veloce Strato TiL(编号：18503447) |
| 收费项目 | 计费单位 | 价格 | 收费类型 | 备注 |
| 硬件加速器系统测试费 | 元/小时 | 100.0 | 自助上机机时费 |
| 仪器名称: | 音频分析仪-AP APx555(编号：18503903) |
| 收费项目 | 计费单位 | 价格 | 收费类型 | 备注 |
| 音频分析仪测试费 | 元/小时 | 60.0 | 自助上机机时费 |
| 仪器名称: | 器件电流波形分析仪-Keysight CX3322A(编号：18505728) |
| 收费项目 | 计费单位 | 价格 | 收费类型 | 备注 |
| 器件电流波形分析仪测试费 | 元/小时 | 80.0 | 自助上机机时费 |
| 仪器名称: | 恒温恒湿箱-ESPEC ARS-0220-AE(编号：18508318) |
| 收费项目 | 计费单位 | 价格 | 收费类型 | 备注 |
| 恒温恒湿箱测试费 | 元/小时 | 40.0 | 自助上机机时费 |
| 仪器名称: | 直流电源分析仪1-Keysight N6705C(编号：18508331) |
| 收费项目 | 计费单位 | 价格 | 收费类型 | 备注 |
| 直流电源分析仪测试费 | 元/小时 | 50.0 | 自助上机机时费 |
| 仪器名称: | 直流电源分析仪2-Keysight N6705C(编号：18508332) |
| 收费项目 | 计费单位 | 价格 | 收费类型 | 备注 |
| 直流电源分析仪测试费 | 元/小时 | 50.0 | 自助上机机时费 |
| 仪器名称: | 冷热冲击试验箱-ESPEC TSD-101-W(编号：18508800) |
| 收费项目 | 计费单位 | 价格 | 收费类型 | 备注 |
| 冷热冲击箱测试费 | 元/小时 | 80.0 | 自助上机机时费 |
| 仪器名称: | 快速温变箱-ESPEC EGNX28-15NW(编号：18508802) |
| 收费项目 | 计费单位 | 价格 | 收费类型 | 备注 |
| 快速温变箱测试费 | 元/小时 | 100.0 | 自助上机机时费 |
| 仪器名称: | 高速存储器测试系统-ADVANTEST T5833ES TU1(编号：18508803) |
| 收费项目 | 计费单位 | 价格 | 收费类型 | 备注 |
| 高速存储器测试系统测试费 | 元/小时 | 300.0 | 自助上机机时费 |
| 仪器名称: | 信号与频谱分析仪-ROHDE-SCHWARZ FSW26(编号：18508805) |
| 收费项目 | 计费单位 | 价格 | 收费类型 | 备注 |
| 信号与频谱分析仪测试费 | 元/小时 | 110.0 | 自助上机机时费 |
| 仪器名称: | 高频半自动探针台-Cascade Summit 12000B-M(编号：19000171) |
| 收费项目 | 计费单位 | 价格 | 收费类型 | 备注 |
| 高频半自动探针台测试费 | 元/小时 | 360.0 | 自助上机机时费 |
| 仪器名称: | 直流半自动探针台-Cascade Summit 12000B-M(编号：19000811) |
| 收费项目 | 计费单位 | 价格 | 收费类型 | 备注 |
| 直流半自动探针台测试费 | 元/小时 | 160.0 | 自助上机机时费 |
| 仪器名称: | 110GHz信号发生和分析系统-Keysight E8257D&9041B(编号：19000841) |
| 收费项目 | 计费单位 | 价格 | 收费类型 | 备注 |
| 110GHz信号发生和分析系统测试费 | 元/小时 | 500.0 | 自助上机机时费 |
| 仪器名称: | 高低温热流罩-MPI TA-5000A-1-1(编号：19001086) |
| 收费项目 | 计费单位 | 价格 | 收费类型 | 备注 |
| 高低温热流罩测试费 | 元/小时 | 120.0 | 自助上机机时费 |
| 仪器名称: | 任意波形发生器-Keysight 81160A(编号：19004883) |
| 收费项目 | 计费单位 | 价格 | 收费类型 | 备注 |
| 任意波形发生器测试费 | 元/小时 | 40.0 | 自助上机机时费 |
| 仪器名称: | 半导体器件分析仪-Keysight B1500A&1530(编号：19005082) |
| 收费项目 | 计费单位 | 价格 | 收费类型 | 备注 |
| 半导体器件分析仪测试费 | 元/小时 | 80.0 | 自助上机机时费 |
| 仪器名称: | IC电磁干扰扫描仪-Langer EMV ICS 105(编号：19010914) |
| 收费项目 | 计费单位 | 价格 | 收费类型 | 备注 |
| IC电磁干扰扫描仪测试费 | 元/小时 | 80.0 | 自助上机机时费 |
| 仪器名称: | 小型超低温试验箱-ESPEC GMC-71(编号：19016350) |
| 收费项目 | 计费单位 | 价格 | 收费类型 | 备注 |
| 小型超低温试验箱测试费 | 元/小时 | 40.0 | 自助上机机时费 |
| 仪器名称: | 低泄漏开关矩阵-Keysight B2201A(编号：19025458) |
| 收费项目 | 计费单位 | 价格 | 收费类型 | 备注 |
| 低泄漏开关矩阵测试费 | 元/小时 | 40.0 | 自助上机机时费 |
| 仪器名称: | 低温磁电耦合系统-Lake Shore CRX-VF(编号：19030269) |
| 收费项目 | 计费单位 | 价格 | 收费类型 | 备注 |
| 低温磁电耦合系统测试费 | 元/小时 | 300.0 | 自助上机机时费 |
| 仪器名称: | 超大规模集成电路测试机-Advantest V93000(编号：20000545) |
| 收费项目 | 计费单位 | 价格 | 收费类型 | 备注 |
| 超大规模集成电路测试机测试费 | 元/小时 | 700.0 | 自助上机机时费 |
| 仪器名称: | 射频与微波信号发生器-ROHDE-SCHWARZ SMA100B(编号：20000546) |
| 收费项目 | 计费单位 | 价格 | 收费类型 | 备注 |
| 射频与微波信号发生器测试费 | 元/小时 | 100.0 | 自助上机机时费 |
| 仪器名称: | 显微探针台-Cascade EPS150FA(编号：18030302) |
| 收费项目 | 计费单位 | 价格 | 收费类型 | 备注 |
| 显微探针台测试费 | 元/小时 | 80.0 | 自助上机机时费 |
| 仪器名称: | 半导体特性分析系统-Keithley 4200A-SCS(编号：20001001) |
| 收费项目 | 计费单位 | 价格 | 收费类型 | 备注 |
| 半导体特性分析系统测试费 | 元/小时 | 100.0 | 自助上机机时费 |
| 仪器名称: | 开关矩阵-Keysight B2201A(编号：20021537) |
| 收费项目 | 计费单位 | 价格 | 收费类型 | 备注 |
| 开关矩阵测试费 | 元/小时 | 40.0 | 自助上机机时费 |
| 仪器名称: | 半导体参数分析仪-Keysight B1500A 8*SMU(编号：20028444) |
| 收费项目 | 计费单位 | 价格 | 收费类型 | 备注 |
| 半导体参数分析仪测试费 | 元/小时 | 80.0 | 自助上机机时费 |
| 仪器名称: | 无液氦稀释制冷机- BlueFors BF-LD400(编号：20036876) |
| 收费项目 | 计费单位 | 价格 | 收费类型 | 备注 |
| 无液氦稀释制冷机测试费 | 元/小时 | 300.0 | 自助上机机时费 |
| 仪器名称: | 无液氦综合物性测量系统-Quantum DynaCool(编号：21032513) |
| 收费项目 | 计费单位 | 价格 | 收费类型 | 备注 |
| 无液氦综合物性测量系统测试费 | 元/小时 | 400.0 | 自助上机机时费 |
| 仪器名称: | 多通道任意波形发生器-Tektronix AWG5208(编号：22000230) |
| 收费项目 | 计费单位 | 价格 | 收费类型 | 备注 |
| 多通道任意波形发生器测试费 | 元/小时 | 170.0 | 自助上机机时费 |
| 仪器名称: | 高宽带任意波形放大器-Tektronix AWG70001B(编号：22000231) |
| 收费项目 | 计费单位 | 价格 | 收费类型 | 备注 |
| 高宽带任意波形发生器测试费 | 元/小时 | 240.0 | 自助上机机时费 |
| 仪器名称: | 时钟恢复仪-Tektronix CR286A(编号：22000232) |
| 收费项目 | 计费单位 | 价格 | 收费类型 | 备注 |
| 时钟恢复仪测试费 | 元/小时 | 100.0 | 自助上机机时费 |
| 仪器名称: | 采样示波器-Tektronix DSA8300(编号：22000236) |
| 收费项目 | 计费单位 | 价格 | 收费类型 | 备注 |
| 采样示波器测试费 | 元/小时 | 130.0 | 自助上机机时费 |
| 仪器名称: | 混合信号示波器-Tektronix MSO58(编号：22000239) |
| 收费项目 | 计费单位 | 价格 | 收费类型 | 备注 |
| 混合信号示波器测试费 | 元/小时 | 120.0 | 自助上机机时费 |
| 仪器名称: | 实时频谱分析仪-Tektronix RSA5126B(编号：22000240) |
| 收费项目 | 计费单位 | 价格 | 收费类型 | 备注 |
| 实时频谱分析仪测试费 | 元/小时 | 170.0 | 自助上机机时费 |
| 仪器名称: | 相位噪声分析仪-ROHDE-SCHWARZ FSWP50(编号：22000433) |
| 收费项目 | 计费单位 | 价格 | 收费类型 | 备注 |
| 相位噪声分析仪测试费 | 元/小时 | 260.0 | 自助上机机时费 |
| 仪器名称: | 8位半万用表-Keysight 3458A(编号：22005546) |
| 收费项目 | 计费单位 | 价格 | 收费类型 | 备注 |
| 8位半万用表测试费 | 元/小时 | 20.0 | 自助上机机时费 |
| 仪器名称: | 电流分析仪-Keysight CX3322A(编号：22006618) |
| 收费项目 | 计费单位 | 价格 | 收费类型 | 备注 |
| 电流分析仪测试费 | 元/小时 | 40.0 | 自助上机机时费 |
| 仪器名称: | 脉冲函数任意噪声发生器-Keysight 81160A(编号：22006663) |
| 收费项目 | 计费单位 | 价格 | 收费类型 | 备注 |
| 脉冲函数任意噪声发生器 | 元/小时 | 40.0 | 自助上机机时费 |
| 仪器名称: | 模拟射频信号发生器-Keysight E8663D(编号：22006665) |
| 收费项目 | 计费单位 | 价格 | 收费类型 | 备注 |
| 模拟射频信号发生器测试费 | 元/小时 | 60.0 | 自助上机机时费 |
| 仪器名称: | 功率计-Keysight N1913A(编号：22006673) |
| 收费项目 | 计费单位 | 价格 | 收费类型 | 备注 |
| 功率计测试费 | 元/小时 | 30.0 | 自助上机机时费 |
| 仪器名称: | 信号源分析仪-Keysight E5052B(编号：22007006) |
| 收费项目 | 计费单位 | 价格 | 收费类型 | 备注 |
| 信号源分析仪测试费 | 元/小时 | 70.0 | 自助上机机时费 |
| 仪器名称: | 高低温全自动探针台-Opus 3 SLT(编号：22007413) |
| 收费项目 | 计费单位 | 价格 | 收费类型 | 备注 |
| 高低温全自动探针台测试费 | 元/小时 | 220.0 | 自助上机机时费 |
| 仪器名称: | 直流电源分析仪-Keysight X8712A(编号：22011594) |
| 收费项目 | 计费单位 | 价格 | 收费类型 | 备注 |
| 直流电源分析仪测试费 | 元/小时 | 50.0 | 自助上机机时费 |
| 仪器名称: | 频谱分析仪-Keysight N9020B(编号：22013822) |
| 收费项目 | 计费单位 | 价格 | 收费类型 | 备注 |
| 频谱分析仪测试费 | 元/小时 | 80.0 | 自助上机机时费 |
| 仪器名称: | 大功率探针台-MPI TS2000HP(编号：22013848) |
| 收费项目 | 计费单位 | 价格 | 收费类型 | 备注 |
| 大功率探针台测试费 | 元/小时 | 500.0 | 自助上机机时费 |
| 仪器名称: | 噪声系数分析仪-Keysight N8976B(编号：22013859) |
| 收费项目 | 计费单位 | 价格 | 收费类型 | 备注 |
| 噪声系数分析仪测试费 | 元/小时 | 160.0 | 自助上机机时费 |
| 仪器名称: | 矢量信号发生器-Keysight M9384B(编号：22013860) |
| 收费项目 | 计费单位 | 价格 | 收费类型 | 备注 |
| 矢量信号发生器测试费 | 元/小时 | 130.0 | 自助上机机时费 |
| 仪器名称: | 频谱分析仪-Keysight N9021B(编号：22013866) |
| 收费项目 | 计费单位 | 价格 | 收费类型 | 备注 |
| 频谱分析仪测试费 | 元/小时 | 100.0 | 自助上机机时费 |
| 仪器名称: | 矢量网络分析仪-Keysight E5080B(编号：22013909) |
| 收费项目 | 计费单位 | 价格 | 收费类型 | 备注 |
| 矢量网络分析仪测试费 | 元/小时 | 200.0 | 自助上机机时费 |
| 仪器名称: | 功率器件分析仪-Keysight B1505A(编号：22013943) |
| 收费项目 | 计费单位 | 价格 | 收费类型 | 备注 |
| 功率器件分析仪测试费 | 元/小时 | 400.0 | 自助上机机时费 |
| 仪器名称: | 中端逻辑分析仪-Keysight 16864A(编号：22017187) |
| 收费项目 | 计费单位 | 价格 | 收费类型 | 备注 |
| 中端逻辑分析仪测试费 | 元/小时 | 100.0 | 自助上机机时费 |
| 仪器名称: | 高清示波器-Tektronix DPO71304SX(编号：22017293) |
| 收费项目 | 计费单位 | 价格 | 收费类型 | 备注 |
| 高清示波器测试费 | 元/小时 | 180.0 | 自助上机机时费 |
| 仪器名称: | 信号分析仪-ROHDE-SCHWARZ FSVA3030(编号：22017295) |
| 收费项目 | 计费单位 | 价格 | 收费类型 | 备注 |
| 信号分析仪测试费 | 元/小时 | 140.0 | 自助上机机时费 |
| 仪器名称: | 示波器-Tektronix MSO64B 6-BW-4000(编号：22017296) |
| 收费项目 | 计费单位 | 价格 | 收费类型 | 备注 |
| 示波器测试费 | 元/小时 | 140.0 | 自助上机机时费 |
| 仪器名称: | 高性能逻辑分析仪1-Tektronix MSO58LP(编号：22017652) |
| 收费项目 | 计费单位 | 价格 | 收费类型 | 备注 |
| 高性能逻辑分析仪测试费 | 元/小时 | 90.0 | 自助上机机时费 |
| 仪器名称: | 高性能逻辑分析仪2-Tektronix MSO58LP(编号：22017653) |
| 收费项目 | 计费单位 | 价格 | 收费类型 | 备注 |
| 高性能逻辑分析仪测试费 | 元/小时 | 90.0 | 自助上机机时费 |
| 仪器名称: | 直流电源分析仪3-Keysight N6705C(编号：22024253) |
| 收费项目 | 计费单位 | 价格 | 收费类型 | 备注 |
| 直流电源分析仪测试费 | 元/小时 | 50.0 | 自助上机机时费 |
| 仪器名称: | 器件电流波形分析仪-Keysight CX3324A(编号：22025202) |
| 收费项目 | 计费单位 | 价格 | 收费类型 | 备注 |
| 器件电流波形分析仪测试费 | 元/小时 | 100.0 | 自助上机机时费 |
| 仪器名称: | 半导体参数分析系统-EN-6500A(编号：22025211) |
| 收费项目 | 计费单位 | 价格 | 收费类型 | 备注 |
| 半导体参数分析系统测试费 | 元/小时 | 70.0 | 自助上机机时费 |
| 仪器名称: | 任意波形发生器-Keysight M8195A(编号：22025212) |
| 收费项目 | 计费单位 | 价格 | 收费类型 | 备注 |
| 任意波形发生器测试费 | 元/小时 | 260.0 | 自助上机机时费 |
| 仪器名称: | PXIe精密源测量单元-Keysight M9615A(编号：22044519) |
| 收费项目 | 计费单位 | 价格 | 收费类型 | 备注 |
| PXIe精密源测量单元测试费 | 元/小时 | 100.0 | 自助上机机时费 |
| 仪器名称: | 数字集成电路测试机-ST2516(编号：22044623) |
| 收费项目 | 计费单位 | 价格 | 收费类型 | 备注 |
| 数字集成电路测试机测试费 | 元/小时 | 100.0 | 自助上机机时费 |
| 仪器名称: | 硬件仿真加速器(编号：22045261) |
| 收费项目 | 计费单位 | 价格 | 收费类型 | 备注 |
| 硬件仿真加速器测试费 | 元/小时 | 300.0 | 自助上机机时费 |
| 仪器名称: | 微光显微镜-SEMICAPS SOM1100(编号：23001193) |
| 收费项目 | 计费单位 | 价格 | 收费类型 | 备注 |
| 微光显微镜测试费 | 元/小时 | 1000.0 | 自助上机机时费 |
| 仪器名称: | 引线键合机-WEST BOND 7376D(编号：23020187) |
| 收费项目 | 计费单位 | 价格 | 收费类型 | 备注 |
| 引线键合机测试费 | 元/小时 | 400.0 | 自助上机机时费 | 劈刀损坏需赔偿 |
| 仪器名称: | 误码率分析仪- MP1900A(编号：23028763) |
| 收费项目 | 计费单位 | 价格 | 收费类型 | 备注 |
| 误码率分析仪测试费 | 元/小时 | 600.0 | 自助上机机时费 |
| 仪器名称: | 12寸手动探针台-MPI TS300(编号：23030634) |
| 收费项目 | 计费单位 | 价格 | 收费类型 | 备注 |
| 12寸手动探针台测试费 | 元/小时 | 140.0 | 自助上机机时费 |
| 仪器名称: | 示波器-Tektronix MSO64B(编号：23030805) |
| 收费项目 | 计费单位 | 价格 | 收费类型 | 备注 |
| 示波器测试费 | 元/小时 | 140.0 | 自助上机机时费 |
| 仪器名称: | 高带宽实时示波器-Keysight UXR0594A(编号：24005993) |
| 收费项目 | 计费单位 | 价格 | 收费类型 | 备注 |
| 高带宽实时示波器测试费 | 元/小时 | 800.0 | 自助上机机时费 |
| 仪器名称: | 真空互联-磁控溅射镀膜机(编号：20004165) |
| 收费项目 | 计费单位 | 价格 | 收费类型 | 备注 |
| 材料溅射 | 元/小时 | 460.0 | 自助上机机时费 | Au等贵金属加收100元/10nm |
| 仪器名称: | 真空互联-脉冲激光沉积镀膜机(编号：20005466) |
| 收费项目 | 计费单位 | 价格 | 收费类型 | 备注 |
| 材料生长 | 元/小时 | 530.0 | 自助上机机时费 |
| 仪器名称: | 真空互联-分子束外延系统(金属）(编号：21028618) |
| 收费项目 | 计费单位 | 价格 | 收费类型 | 备注 |
| 材料生长 | 元/小时 | 480.0 | 自助上机机时费 |
| 仪器名称: | 真空互联-多功能扫描探针显微镜(编号：21028772) |
| 收费项目 | 计费单位 | 价格 | 收费类型 | 备注 |
| 材料表征 | 元/小时 | 470.0 | 自助上机机时费 |
| 仪器名称: | 真空互联-分子束外延系统(半导体）(编号：21028773) |
| 收费项目 | 计费单位 | 价格 | 收费类型 | 备注 |
| 材料生长 | 元/小时 | 480.0 | 自助上机机时费 |
| 仪器名称: | 真空互联-原子层沉积系统(编号：21029113) |
| 收费项目 | 计费单位 | 价格 | 收费类型 | 备注 |
| 材料生长 | 元/小时 | 750.0 | 自助上机机时费 | 使用Pt贵重前驱体需430元/10nm |
| 仪器名称: | 真空互联-扫描俄歇显微镜系统(编号：21029115) |
| 收费项目 | 计费单位 | 价格 | 收费类型 | 备注 |
| 材料成分表征 | 元/小时 | 295.0 | 自助上机机时费 |
| 仪器名称: | 真空互联-线性真空传输系统(编号：21030323) |
| 收费项目 | 计费单位 | 价格 | 收费类型 | 备注 |
| 各腔室之间的真空传输 | 元/小时 | 210.0 | 自助上机机时费 | 互联腔室较多时，可优惠 |
| 仪器名称: | 真空互联-角分辨光电子能谱(编号：A21000102) |
| 收费项目 | 计费单位 | 价格 | 收费类型 | 备注 |
| 材料表征 | 元/小时 | 540.0 | 自助上机机时费 | 液氮降温，样品解离 |