单电子枪倾斜式真空镀膜系统:
电子束沉积系统;实现对单种材料的倾斜生长制备纳米结构
双离子束溅射真空镀膜系统:
双离子枪,一枪溅射、一枪辅助,可有效弛豫薄膜中应力,提高薄膜同基片结合力,提高薄膜密实度
双电子枪倾斜式真空镀膜系统:
倾斜式镀膜真空系统,可以实现对两种材料的共沉积
薄膜杨氏模量的声表面波测试系统:
声表面波测试系统,可以测试薄膜材料的杨氏模量、密度、厚度、泊松比等性质,对缺陷敏感
显微角分辨光谱仪:
可以实现对透射、反射以及荧光的变角度测量,微区束斑最小可达3微米
高分辨快速拉曼光谱成像系统:
脉冲电子束沉积系统:
脉冲电子束沉积系统,沉积氧化物、氮化物等薄膜