仪器共享服务平台

微纳加工中心能力体系简介

清华大学微纳加工中心作为校级公共服务平台，服务学校迈向世界一流大学前列的建设目标，2016年纳入国家“双创”首批示范基地，2018年获批国家集成电路“产教融合”创新平台。中心以微纳尺度为特征，集设计、加工、测试能力为一体，近年来得到了国家发改委、教育部、清华大学等多个建设项目的支持，先后获得清华大学校级先进集体、实验室建设与管理一等奖、实验技术成果奖等多项荣誉。支持校内外师生在多领域、交叉学科开展前沿科学研究和技术开发，开展的研究领域包括集成电路、新型微纳电子器件、新型存储器、低维材料、柔性电子器件、微流体、生物芯片、微机电器件与系统（MEMS）等。

中心实行7天24小时开放服务，秉持“开放、共享”原则，服务校内26个院系的教学与科研以及北京大学、中科院微电子所等校外100余个课题组，活跃用户800余人，每年开放服务总机时超过13万小时，支撑了集成电路学院、为先书院、未央书院、材料学院、精仪系、机械系、电子系、自动化系等30余门本科和研究生课程，是集成电路人才培养的重要基地。

中心超净实验室于2025年9月搬入自强科技楼，拥有超净面积2000m2，包括千级区1800m2、百级区220m2，具备完整的8英寸工艺能力，按照工艺模块分区布局，为用户提供湿法与清洗、氧化、CVD、ALD、溅射蒸发、光刻、刻蚀、离子注入封装、测试、真空互联等服务。目前，中心拥有全职工程师25人，加工测试设备232台套，其中8英寸工艺设备30余台套。微纳加工中心能力体系（修订版）可分为6大类服务能力：真空互联系统、设计与仿真、器件加工工艺、工艺集成、封装及集成、芯片测试分析，含27小类，100项服务能力。