示波器:

高带宽、大深度通用示波器

高速100欧阻抗

低速1M欧阻抗

配有逻辑分析仪通道

CHD15标准驱动器:

用于CHD15光盘的误码率、伺服参数测试，用于盘片格式研究。

飞秒激光器:

红外激光器

100fs脉宽

光学数码显微镜:

光学显微功能

3D测量

适用于微流控器件观测

CHD15标准驱动器:

用于CHD15光盘的误码率、伺服参数测试。

高频探针台:

高频探针台，样品面积大，底泄露，底噪小，频宽高。

半导体特性测试仪:

用于半导体特性的常规测试。

5靶共溅射系统:

5个溅射源，共焦溅射；

多层沉积，溅射材料为化合物、氧化物和气体；

基片4英寸，沉积均匀性优于2.5%；

Z轴行程大于50mm；

DC单元2个，700-800W，可4路切换；

RF单元1个，250-350W，可4路切换；

极限真空度≤2X10^-7Torr

加热温度≥850摄氏度

准分子激光器:

大功率深紫外激光器，用于PLD双路共溅射。可衰减使用，输出功率可调。