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7台
CHD15标准驱动器
1台
真空磁控溅射仪
1台
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CHD15标准驱动器
地点:4401
半导体特性测试仪
地点:4401
飞秒激光器
地点:4401
高频探针台
地点:4401
光学数码显微镜
地点:4401
示波器
地点:4401
准分子激光器
地点:微电子所超净间
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