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收费标准
仪器名称:原子力扫描探针显微镜(编号：02001930)
收费项目 计费单位 价格 收费类型 备注
针尖费用 元/小时 300.0 自助上机机时费
测试费 元/小时 300.0 自助上机机时费 针尖单收费

仪器名称:透射电子显微镜(编号：05002782)
收费项目 计费单位 价格 收费类型 备注
透射电镜测试费 元/小时 600.0 测试费
EDS测试费 元/次 100.0 测试费
STEM测试费 元/次 100.0 测试费

仪器名称:场发射扫描电镜(编号：05002783)
收费项目 计费单位 价格 收费类型 备注
扫描电镜测试费 元/小时 300.0 测试费
EDS测试费 元/次 100.0 测试费
STEM测试费 元/次 100.0 测试费

仪器名称:晶体分析仪(编号：06000957)
收费项目 计费单位 价格 收费类型 备注
测试费 元/小时 0.0 自助上机机时费 校外价双方协商后收取

仪器名称:精密刻蚀喷涂系统(编号：06002704)
收费项目 计费单位 价格 收费类型 备注
PECS溅射镀膜费 元/次 120.0 测试费

仪器名称:拉曼光谱仪(编号：11009602)
收费项目 计费单位 价格 收费类型 备注
测试费 元/小时 400.0 自助上机机时费

仪器名称:反应离子刻蚀系统(编号：04001124)
收费项目 计费单位 价格 收费类型 备注
反应离子刻蚀 元/小时 300.0 自助上机机时费

仪器名称:高级匀胶系统(编号：04001156)
收费项目 计费单位 价格 收费类型 备注
涂胶（小于两英寸样品） 元/片 50.0 材料费
涂胶（大于两英寸样品） 元/片 100.0 材料费

仪器名称:精密对位曝光系统(编号：04001157)
收费项目 计费单位 价格 收费类型 备注
曝光（厚胶或双面曝光） 元/小时 600.0 自助上机机时费
曝光（普通胶） 元/小时 400.0 自助上机机时费

仪器名称:溅射镀膜系统(编号：04001163)
收费项目 计费单位 价格 收费类型 备注
溅射 元/小时 600.0 自助上机机时费

仪器名称:反应离子刻蚀系统(编号：04001164)
收费项目 计费单位 价格 收费类型 备注
反应离子刻蚀 元/小时 300.0 自助上机机时费

仪器名称:化学气相沉积系统(编号：04001166)
收费项目 计费单位 价格 收费类型 备注
沉积SiO2 Si3N4 元/小时 400.0 自助上机机时费

仪器名称:蒸发镀膜系统(编号：04001214)
收费项目 计费单位 价格 收费类型 备注
蒸发贵金属（Au Pt Pd 60nm以上） 元/10nm 300.0 材料费
蒸发贵金属（Au Pt Pd 60nm以内） 元/小时 1100.0 自助上机机时费
蒸发普通金属及氧化物 元/小时 450.0 自助上机机时费
蒸发Ag W 元/小时 650.0 自助上机机时费

仪器名称:双频刻蚀系统(编号：04001215)
收费项目 计费单位 价格 收费类型 备注
刻蚀（深度小于30um） 元/片 800.0 材料费
ICP刻蚀硅 元/小时 650.0 自助上机机时费
刻蚀（深度大于30um） 元/10um 150.0 材料费

仪器名称:高级显影系统(编号：04001249)
收费项目 计费单位 价格 收费类型 备注
显影 元/片 100.0 材料费

仪器名称:半自动纳米压印机(编号：04001658)
收费项目 计费单位 价格 收费类型 备注
阳极键合 元/小时 1800.0 自助上机机时费
纳米压印 元/小时 1000.0 自助上机机时费
热键合 元/小时 1000.0 自助上机机时费

仪器名称:刻蚀系统(编号：04009242)
收费项目 计费单位 价格 收费类型 备注
湿法刻蚀 元/小时 300.0 自助上机机时费

仪器名称:清洗系统(编号：04009244)
收费项目 计费单位 价格 收费类型 备注
清洗 去胶 元/小时 300.0 自助上机机时费

仪器名称:电子束曝光机(编号：07000912)
收费项目 计费单位 价格 收费类型 备注
电子束曝光 元/小时 1500.0 自助上机机时费

仪器名称:原子层沉积系统(编号：10019414)
收费项目 计费单位 价格 收费类型 备注
生长Al2O3薄膜 元/小时 250.0 自助上机机时费

仪器名称:全自动离子束刻蚀机(编号：10021613)
收费项目 计费单位 价格 收费类型 备注
离子束刻蚀 元/小时 500.0 自助上机机时费

仪器名称:轮廓膜厚仪(编号：17003018)
收费项目 计费单位 价格 收费类型 备注
台阶测试 元/小时 200.0 自助上机机时费
测试 元/小时 200.0 自助上机机时费