仪器名称: | 原子力扫描探针显微镜(编号:02001930) |
收费项目 |
计费单位 |
价格 |
收费类型 |
备注 |
针尖费用 |
元/小时 |
300.0
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自助上机机时费
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测试费 |
元/小时 |
300.0
|
自助上机机时费
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针尖单收费 |
仪器名称: | 透射电子显微镜(编号:05002782) |
收费项目 |
计费单位 |
价格 |
收费类型 |
备注 |
透射电镜测试费 |
元/小时 |
600.0
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测试费
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EDS测试费 |
元/次 |
100.0
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测试费
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STEM测试费 |
元/次 |
100.0
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测试费
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仪器名称: | 场发射扫描电镜(编号:05002783) |
收费项目 |
计费单位 |
价格 |
收费类型 |
备注 |
扫描电镜测试费 |
元/小时 |
300.0
|
测试费
|
|
EDS测试费 |
元/次 |
100.0
|
测试费
|
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STEM测试费 |
元/次 |
100.0
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测试费
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收费项目 |
计费单位 |
价格 |
收费类型 |
备注 |
测试费 |
元/小时 |
0.0
|
自助上机机时费
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校外价双方协商后收取 |
仪器名称: | 精密刻蚀喷涂系统(编号:06002704) |
收费项目 |
计费单位 |
价格 |
收费类型 |
备注 |
PECS溅射镀膜费 |
元/次 |
120.0
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测试费
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收费项目 |
计费单位 |
价格 |
收费类型 |
备注 |
测试费 |
元/小时 |
400.0
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自助上机机时费
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收费项目 |
计费单位 |
价格 |
收费类型 |
备注 |
同步热分析DSC |
元/小时 |
100.0
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自助上机机时费
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温度小于0度加收50元/小时 |
DTA |
元/小时 |
100.0
|
自助上机机时费
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大于700度每小时加收20元, |
仪器名称: | 反应离子刻蚀系统(编号:04001124) |
收费项目 |
计费单位 |
价格 |
收费类型 |
备注 |
反应离子刻蚀 |
元/小时 |
300.0
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自助上机机时费
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收费项目 |
计费单位 |
价格 |
收费类型 |
备注 |
涂胶(小于两英寸样品) |
元/片 |
50.0
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材料费
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涂胶(大于两英寸样品) |
元/片 |
100.0
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材料费
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仪器名称: | 精密对位曝光系统(编号:04001157) |
收费项目 |
计费单位 |
价格 |
收费类型 |
备注 |
曝光(厚胶或双面曝光) |
元/小时 |
600.0
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自助上机机时费
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曝光(普通胶) |
元/小时 |
400.0
|
自助上机机时费
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收费项目 |
计费单位 |
价格 |
收费类型 |
备注 |
溅射 |
元/小时 |
600.0
|
自助上机机时费
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仪器名称: | 反应离子刻蚀系统(编号:04001164) |
收费项目 |
计费单位 |
价格 |
收费类型 |
备注 |
反应离子刻蚀 |
元/小时 |
300.0
|
自助上机机时费
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仪器名称: | 化学气相沉积系统(编号:04001166) |
收费项目 |
计费单位 |
价格 |
收费类型 |
备注 |
沉积SiO2 Si3N4 |
元/小时 |
400.0
|
自助上机机时费
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|
收费项目 |
计费单位 |
价格 |
收费类型 |
备注 |
蒸发贵金属(Au Pt Pd 60nm以上) |
元/10nm |
300.0
|
材料费
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蒸发贵金属(Au Pt Pd 60nm以内) |
元/小时 |
1100.0
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自助上机机时费
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蒸发普通金属及氧化物 |
元/小时 |
450.0
|
自助上机机时费
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蒸发Ag W |
元/小时 |
650.0
|
自助上机机时费
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收费项目 |
计费单位 |
价格 |
收费类型 |
备注 |
刻蚀(深度小于30um) |
元/片 |
800.0
|
材料费
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ICP刻蚀硅 |
元/小时 |
650.0
|
自助上机机时费
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刻蚀(深度大于30um) |
元/10um |
150.0
|
材料费
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收费项目 |
计费单位 |
价格 |
收费类型 |
备注 |
显影 |
元/片 |
100.0
|
材料费
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仪器名称: | 半自动纳米压印机(编号:04001658) |
收费项目 |
计费单位 |
价格 |
收费类型 |
备注 |
阳极键合 |
元/小时 |
1800.0
|
自助上机机时费
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纳米压印 |
元/小时 |
1000.0
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自助上机机时费
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热键合 |
元/小时 |
1000.0
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自助上机机时费
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收费项目 |
计费单位 |
价格 |
收费类型 |
备注 |
湿法刻蚀 |
元/小时 |
300.0
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自助上机机时费
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收费项目 |
计费单位 |
价格 |
收费类型 |
备注 |
清洗 去胶 |
元/小时 |
300.0
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自助上机机时费
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收费项目 |
计费单位 |
价格 |
收费类型 |
备注 |
电子束曝光 |
元/小时 |
1500.0
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自助上机机时费
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仪器名称: | 原子层沉积系统(编号:10019414) |
收费项目 |
计费单位 |
价格 |
收费类型 |
备注 |
生长Al2O3薄膜 |
元/小时 |
200.0
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自助上机机时费
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仪器名称: | 全自动离子束刻蚀机(编号:10021613) |
收费项目 |
计费单位 |
价格 |
收费类型 |
备注 |
离子束刻蚀 |
元/小时 |
500.0
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自助上机机时费
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收费项目 |
计费单位 |
价格 |
收费类型 |
备注 |
台阶测试 |
元/小时 |
200.0
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自助上机机时费
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测试 |
元/小时 |
200.0
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自助上机机时费
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